[发明专利]一种PbO-Cr2 有效
申请号: | 202010254697.0 | 申请日: | 2020-04-02 |
公开(公告)号: | CN111334769B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 蒲吉斌;吴洋;王立平;蔡召斌;卢光明;王海新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/08 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王茹;王锋 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pbo cr base sub | ||
本发明公开了一种PbO‑Cr2O3共掺杂薄膜及其制备方法与应用。所述PbO‑Cr2O3共掺杂薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的Pb‑Cr过渡层、Pb‑Cr与PbO‑Cr2O3梯度过渡层和PbO‑Cr2O3共掺杂表层。所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,在基体表面依次沉积Pb‑Cr过渡层、Pb‑Cr与PbO‑Cr2O3梯度过渡层和PbO‑Cr2O3共掺杂表层,获得所述PbO‑Cr2O3共掺杂薄膜。本发明的PbO‑Cr2O3共掺杂薄膜具有良好的力学性能、润滑性能、宽温域高温摩擦磨损性能及抗氧化性能,能够满足极端高温环境下服役的发动机与轮机装备的宽温域、高可靠和低摩擦服役需求,具有很好的应用价值。
技术领域
本发明涉及一种PbO-Cr2O3共掺杂薄膜,特别涉及一种掺杂不同Cr2O3含量的PbO薄膜及其制备方法,可用于大气环境下航空发动机及燃气轮机服役的基体表面,属于基体表面处理技术领域。
背景技术
在大气环境下,航空发动机及燃气轮机不可避免遇到高温摩擦磨损问题,而目前航空界追求的推重比的提高,一是提高燃烧室温度,二是减少各级压气机摩擦,降低压力损失,温度和压力是影响两机性能的决定性因素。而在发动机高达1000℃的工作环境下,一般材料结构和性能在高温下发生变化热、力交互作用,氧化、熔融、腐蚀,微观结构变化,性能下降。但氧化物本身性能稳定,不易氧化,并且熔点较高,高温下不会受热软化融化造成粘着磨损而失效。目前采用气相沉积技术制备的氧化物薄膜(如Cr2O3、Al2O3)已经广泛用于航空发动机及燃气轮机的润滑。然而,传统单一的氧化物涂层有着特定的工作温度,无法在室温-1000 ℃的宽温域环境下始终保持良好的润滑性能,双元乃至多元氧化物涂层应运而生。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种PbO-Cr2O3共掺杂薄膜及其制备方法,从而克服了现有技术中的不足。
本发明的另一目的还在于提供所述PbO-Cr2O3共掺杂薄膜的应用。
为实现上述发明目的,本发明采用了如下技术方案:
本发明实施例提供了一种PbO-Cr2O3共掺杂薄膜,其包括在所述PbO-Cr2O3共掺杂薄膜厚度方向上依次层叠的Pb-Cr过渡层、Pb-Cr与PbO-Cr2O3梯度过渡层和PbO-Cr2O3共掺杂表层。
本发明实施例还提供了前述PbO-Cr2O3共掺杂薄膜的制备方法,其包括:
采用磁控溅射技术,在基体表面依次沉积Pb-Cr过渡层、Pb-Cr与PbO-Cr2O3梯度过渡层和PbO-Cr2O3共掺杂表层,获得所述PbO-Cr2O3共掺杂薄膜。
在一些优选实施例中,所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,以铅铬复合靶为阴极靶材,以惰性气体为工作气体,对所述铅铬复合靶施加靶电流,对基体施加偏压,从而在基体表面沉积得到Pb-Cr过渡层。
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