[发明专利]探针销对位装置

权利要求书

1.一种探针销对位装置，其是使载置于基台的一个面的电子设备、与前端接触到所述电子设备的电极焊盘的探针销对位的探针销的对位装置，

所述探针销对位装置的特征在于，具备：

反射镜，其在所述探针销靠近所述电极焊盘时，至少映出所述电子设备的电极焊盘；

相机，其对靠近所述电极焊盘的所述探针销、以及映入所述反射镜的镜像进行拍摄；

偏差量测量部，其测量由所述相机拍摄的图像中的、所述探针销的位置与所述电子设备的电极焊盘的位置的偏差量；

移动部，其使所述基台与所述探针销相对移动；以及

控制部，其通过所述移动部使所述基台与所述探针销相对移动，以使由所述偏差量测量部测量出的偏差量接近于零。

2.根据权利要求1所述的探针销对位装置，其特征在于，所述反射镜配置为相对于所述基台的一个面倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的探针销对位装置，其特征在于，还具备装配有所述探针销的块体，所述反射镜装配于所述块体。

4.根据权利要求3所述的探针销对位装置，其特征在于，所述块体具备相对于所述基台的一个面倾斜的倾斜面，

所述反射镜装配于所述倾斜面，所述探针销贯穿装配于所述倾斜面的所述反射镜，从而被装配于所述块体，

所述偏差量测量部根据在由所述相机拍摄的图像中，所述探针销的实像中的所述反射镜的贯穿位置和镜像中的所述电子设备的电极焊盘的位置，测量所述探针销的位置与所述电子设备的电极焊盘的位置的偏差量。

5.根据权利要求4所述的探针销对位装置，其特征在于，所述控制部基于由所述偏差量测量部测量出的偏差量控制所述移动部，以使所述电子设备的电极焊盘的位置与所述探针销的位置在所述拍摄的图像中相匹配。

6.根据权利要求1所述的探针销对位装置，其特征在于，所述反射镜映出靠近所述电极焊盘的所述探针销，

所述偏差量测量部根据在由所述相机拍摄的图像中，镜像中的所述探针销的位置和所述电子设备的电极焊盘的位置，测量所述探针销的位置与所述电子设备的电极焊盘的位置的偏差量。