[发明专利]光学三维测量系统

权利要求书

1.光学三维测量系统，其特征在于：包括光源系统(1)，所述光源系统(1)一侧斜向设置有第一分光镜(4)，所述第一分光镜(4)一侧设置有尼普科夫圆盘(5)，使得光源系统(1)射出的平行光经第一分光镜(4)后偏折90度射向尼普科夫圆盘(5)，所述尼普科夫圆盘(5)远离第一分光镜(4)一侧依次设置有第一投影物镜(6)、色差透镜(7)和显微物镜(9)，所述显微物镜(9)远离色差透镜(7)一侧还设置有用于放置待测物的置物台(11)，使得穿过尼普科夫圆盘(5)的光束经由第一投影物镜(6)、色差透镜(7)和显微物镜(9)成像在待测物表面，所述第一分光镜(4)远离尼普科夫圆盘(5)一侧依次设置有第二投影物镜(17)和CCD彩色摄像机(18)，使得带测产品表面反射的光经由显微物镜(9)、色差透镜(7)、第一投影物镜(6)、尼普科夫圆盘(5)、第一分光镜(4)、第二投影物镜(17)进入CCD彩色摄像机(18)内。

2.如权利要求1所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述光源系统(1)包括内部涂有高反射率材料的积分球，所述积分球包括至少一个入光口和一个出光口(2)，所述入光口出设置有宽频带白色光源。

3.如权利要求2所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述宽频带白色光源发光口处设置有用于去除有害红外光能量的带通滤波片。

4.如权利要求2所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述积分球的出光口(2)处设置有科勒照明系统(3)。

5.如权利要求1所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述显微物镜(9)和色差透镜(7)之间还斜向设置有第一分束器(12)，所述第一分束器(12)一侧设置有目镜(14)，使得待测物反射的光显微物镜(9)后经第一分束器(12)后到达目镜(14)。

6.如权利要求5所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述所述第一分束器(12)与目镜(14)之间斜向设置有第二分束器(13)，所述第二分束器(13)一侧依次设置有成像透镜(15)和CCD相机(16)，使得待测物反射的光显微物镜(9)后经第一分束器(12)、第二分束器(13)和成像透镜(15)到达CCD相机(16)。

7.如权利要求6所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述第一分束器(12)、第二分束器(13)、目镜(14)、成像透镜(15)和CCD相机(16)均安装在移动架上，还包括驱动移动架水平移动的移动导轨。

8.如权利要求1所述的光学三维测量系统，其特征在于：还包括机械扫描装置(10)，所述显微物镜(9)安装在机械扫描装置(10)上，所述显微物镜(9)和机械扫描装置(10)包括两套，所述两套显微物镜(9)分别为高倍率显微物镜(9)和低倍率显微物镜(9)，还包括切换装置，所述两套显微物镜(9)和机械扫描装置(10)均安装在切换装置上。

9.如权利要求1所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述置物台(11)为五维位移台。

10.如权利要求2所述的光学三维测量系统，其特征在于：所述宽频带白色光源为卤钨灯，所述CCD彩色摄像机(18)为Foveon彩色照相机。