[发明专利]流量配比装置、露点发生器以及流量配比方法

权利要求书

1.一种流量配比装置，用于露点发生器，其特征在于，包括：总管路、总电磁阀、湿气管路、第一电磁阀、第一质量流量控制器、干气管路、第二电磁阀、第二质量流量控制器和人机界面，所述总电磁阀安装在所述总管路上，用于控制所述总管路的通断；所述总管路分支为所述湿气管路和所述干气管路；所述第一电磁阀安装在所述湿气管路上，用于控制所述湿气管路的通断；所述第一质量流量控制器安装在所述湿气管路上，用于控制所述湿气管路的气体流量；所述第二电磁阀安装在所述干气管路上，用于控制所述干气管路的通断；所述第二质量流量控制器安装在所述干气管路上，用于控制所述干气管路的气体流量；所述人机界面被配置为控制所述总电磁阀、所述第一电磁阀、所述第二电磁阀、所述第一质量流量控制器和所述第二质量流量控制器。

2.根据权利要求1所述的流量配比装置，其特征在于，所述人机界面被配置根据所需的标准湿气的干、湿气流量值，控制所述第一质量流量控制器和所述第二质量流量控制器的内部气阀开启相应开度。

3.根据权利要求1或2所述的流量配比装置，其特征在于，所述湿气管路有三条，每条所述湿气管路上的所述第一质量流量控制器的量程不同。

4.根据权利要求3所述的流量配比装置，其特征在于，所述人机界面被配置为根据所需的标准湿气的湿气流量值，选择开启量程满足要求的对应湿气管路上的所述第一电磁阀，并且根据所需的湿气流量值，调节该对应湿气管路上的所述第一质量流量控制器的气阀开度。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的流量配比装置，其特征在于，所述人机界面被配置为：设定所需的标准湿气的露/霜点温度与气路总流量值；获取所需露/霜点温度范围内的标准湿气的饱和混合比；根据获取的饱和混合比推导出干、湿气流量比；通过气路总流量值以及干、湿气流量比获取干、湿气流量值。

6.一种露点发生器，其特征在于，包括权利要求1-5中任一项所述的流量配比装置。

7.根据权利要求6所述的露点发生器，其特征在于，还包括气源、饱和器以及混合三通，所述气源与所述流量配比装置的所述总管路连接，向所述流量配比装置供给气体，所述饱和器与所述流量配比装置的所述湿气管路连接，所述湿气管路中的气体进入所述饱和器进行饱和，所述混合三通与所述饱和器以及所述流量配比装置的干气管路连接，用于将所述饱和器输出的饱和气体与所述干气管路输出的气体汇合。

8.根据权利要求6或7所述的露点发生器，其特征在于，还包括干燥器，所述干燥器设置在所述气源与所述流量配比装置之间，用于干燥所述气源产生的气体。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的露点发生器，其特征在于，还包括恒温装置、温度控制装置、加热带和温度传感器，所述饱和器放置于所述恒温装置内部，所述恒温装置外部设置有所述加热带，所述温度控制装置根据所述温度传感器反馈的温度信号，控制所述加热带的加热输出，使所述恒温装置达到所需温度。

10.一种流量配比方法，用于权利要求6-9中任一项所述的露点发生器，其特征在于，包括：

设定所需的标准湿气的露/霜点温度与气路总流量值；

获取所需露/霜点温度范围内的标准湿气的饱和混合比；

根据获取的饱和混合比推导出干、湿气流量比；

通过气路总流量值以及干、湿气流量比获取干、湿气流量。