[发明专利]一种微型发光二极管转移装置、转移方法及显示装置有效
申请号: | 202010257544.1 | 申请日: | 2020-04-03 |
公开(公告)号: | CN111146129B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 张玮;孙洋;柳铭岗;陈书志 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L33/48;G09F9/33 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微型 发光二极管 转移 装置 方法 显示装置 | ||
本申请实施例提供一种微型发光二极管转移装置、转移方法及显示装置,本申请的微型发光二极管转移装置包括收集管和驱动装置,收集管具有相对设置的第一端和第二端,所述收集管包括收集口和存储管,所述收集口与所述存储管连通,所述收集口设置在所述第一端,驱动装置设置在所述第二端,所述驱动装置用于提供驱动力,其中,所述驱动装置用于提供驱动力以使得所述微型发光二极管从所述收集口被拾取到所述存储管内,所述存储管可层叠存储至少两个微型发光二极管。本申请可以有效提高转移速度,使得微型发光二极管技术更加适合量产。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种微型发光二极管转移装置、转移方法及显示装置。
背景技术
微型发光二极管(Micro-light emitting diodes,MicroLED)是一种新型自发光显示技术,具有亮度高,发光效率好,功耗低,寿命长且轻薄等优点的显示器件,有望成为下一代主流显示技术。与目前主流显示屏幕LCD和OLED相比,其耗电量明显降低,分别为LCD的10%、OLED的50%,且亮度比OLED高几个数量级。
MicroLED技术主要是将微缩后的几微米到几十微米的LED在基板上进行阵列排布,而形成具有高密度微小尺寸的LED阵列。但目前MicroLED的发展受制于芯片(巨量)转移等关键技术。然而目前,通过巨量转移及巨量转移后的芯片与基板的键合是MicroLED显示技术实现良率提升的瓶颈所在。
现如今,MicroLED转移技术路线主要有范德华力、静电吸附、流体自组装、辐射激光等方式进行转移,完成对位后再进行加热进行焊接,但这些转移方法过程中,都存在速度慢、严重影响MicroLED的量产化。
发明内容
本申请实施例提供一种微型发光二极管转移装置、转移方法及显示装置,能够提高微型发光二极管的转移速度,使得微型发光二极管技术能够更加适合量产。
本申请提供一种微型发光二极管转移装置,包括:
收集管,具有相对设置的第一端和第二端,所述收集管包括收集口和存储管,所述收集口与所述存储管连通,所述收集口设置在所述第一端;
驱动装置,设置在所述第二端,所述驱动装置用于提供驱动力;
其中,所述驱动装置提供驱动力以使得所述微型发光二极管从所述收集口被拾取到所述存储管内,所述存储管可层叠存储至少两个微型发光二极管。
在一些实施例中,所述收集管包括至少两个,多个所述收集管与同一驱动装置连接,所述收集管与所述驱动装置可拆卸连接,所述存储管包括至少两个子连接管,所述子连接管与子连接管可拆卸连接。
在一些实施例中,还包括激光剥离装置,所述激光剥离装置用于剥离所述微型发光二极管。
在一些实施例中,所述收集管为圆柱形腔体、长方形腔体、三角形腔体、菱形腔体、多边形腔体中的任一种。
在一些实施例中,所述收集管材料为聚酰亚胺塑料、聚乙烯塑料、聚对苯二甲酸乙二醇酯塑料、玻璃、石英、金属中的任一种。
本申请实施例还提供一种微型发光二极管转移方法,包括:
采用微型发光二极管转移装置从临时基板上拾取微型发光二极管,其中所述微型发光二极管转移装置为以上所述的微型发光二极管转移装置;
将所述微型发光二极管存储在所述微型发光二极管转移装置的收集管中;
将所述收集管中的微型发光二极管转移到目标基板上。
在一些实施例中,所述采用微型发光二极管转移装置从临时基板上拾取微型发光二极管,包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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