[发明专利]一种钼钛合金靶材的制造方法

权利要求书

1.一种钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于，包括：

1)选取钼粉和钛粉，所选钛粉含量为10-90at％，其余为钼粉；钼粉的平均粒径小于20μm，钛粉的平均粒径为10-300μm；

2)在惰性气体的保护条件下，混合钼粉和钛粉，形成混合粉末；

3)对混合粉末冷等静压成型，使压坯密度达到理论密度的60-80％；

4)对成型的钼钛混合粉末进行加压烧结，得到钼钛压锭；加压烧结过程的压力为75-300MPa，温度为650-1000℃，时间为2-12小时；

5)对钼钛压锭进行压延，达到需求尺寸；

6)对压延后的钼钛板进行热处理，以形成靶材溅射所需的再结晶组织，得到靶材板。

2.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：钼粉的平均粒径为2-10微米，钛粉的平均粒径为20-200微米。

3.如权利要求1或2所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：所述钛粉为球形钛粉，平均粒径为20-150μm。

4.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：所述钼粉和钛粉的纯度均在99.9％以上。

5.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：所选钛粉含量为40-65at％，其余为钼粉。

6.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：步骤4)中的加压烧结操作为热等静压、真空热压或惰性气体热压。

7.如权利要求1或6所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：步骤4)中的加压烧结操作，压力为150-220MPa，温度为750-900℃，时间为4-8小时。

8.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：步骤5)中的压延处理，轧制温度为600℃-1000℃。

9.如权利要求8所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：步骤5)中的压延处理，轧制温度为700-900℃，每次轧制后对轧制板材在真空条件下进行退火，退火温度为400-700℃，退火时间为0.5-3小时。

10.如权利要求1所述的钼钛合金靶材的制造方法，其特征在于：步骤6)中的热处理，在低于100Pa的气体压力、800-1400℃的条件下进行，处理时间2-12小时。