[发明专利]一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统

权利要求书

1.一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：包括上法兰、下法兰、窗框、SMA接口、引线接口、THz窗片、连接法兰和真空隔膜阀以及真空泵。

2.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：Thz窗片与制冷机容器相连，制冷机容器与连接法兰相连，连接法兰与真空隔膜阀相连，真空隔膜阀与波纹管相连，波纹管与真空泵相连，通过THz窗片，真空系统照射THz波。

3.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述下法兰是真空系统的组成模块，整体为内部镂空的正八面体结构，所述下法兰一面上开设有一个引线接口和一个SMA接口， SMA接口中心处圆洞。

4.根据权利要求3所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述SMA接口的上方为引线接口，所述引线接口上设置螺纹孔，引线接口中心处为圆洞，所述下法兰在这面的左侧上设置有抽气接口，所述抽气接口上设置有螺纹孔，所述抽气接口的中间设置有一个圆洞，所述抽气接口的左侧开设有另一个引线接口。

5.根据权利要求3所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述下法兰的上部设置有圆，圆上分布有M4螺纹孔，所述下法兰的一端设置有圆形凹槽。

6.根据权利要求3所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述下法兰的下端设置有制冷机容器，所述制冷机容器的内部设置有制冷机，制冷机包括冷头模块，所述下法兰的下部分布有圆，圆上设置有螺纹孔。

7.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述THz窗片的材料为4-甲基戊烯聚合物，结构为圆柱体。

8.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述窗框为顶法兰，所述顶法兰的材料是不锈钢，形状为圆柱体，中心处有通孔。

9.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述上法兰连接下法兰和THz窗片，材料是不锈钢，结构是中间镂空，底面为正八边形的圆柱体，所述上法兰的下端设置有底座，底座为正八边形，底座在圆上均布8个通孔，圆柱体内部有的圆柱形空间，上部为圆形槽。

10.根据权利要求1所述的一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，其特征在于：所述引线接口和SMA接口均为不锈钢材质，提供电学接口和射频接口，所述连接法兰的一端与真空隔膜阀固定连接，所述真空隔膜阀的一端固定连接有波纹管，所述波纹管的一端与真空泵固定连接。