[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010262657.0 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN113555494A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 周龙涛;黄佳;陈绍江 申请(专利权)人: 科思创德国股份有限公司;同济大学
主分类号: H01L41/113 分类号: H01L41/113;H01L41/047;H01L41/18;H01L41/22;G01L1/16;G01L9/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 段菊兰;邵长准
地址: 德国勒*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 柔性 压力传感器 及其 制备 方法
【说明书】:

发明涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。所述柔性压力传感器包括a)基底;b)经由铬或钛涂层附着在所述基底上的叉指电极;和c)在所述叉指电极上的发泡的热塑性聚氨酯‑碳复合片材,其包含热塑性聚氨酯树脂与导电碳材料。本发明的柔性压力传感器具有良好的柔性、高弹性和压敏特性,并且其稳定性好。同时制备本发明的柔性压力传感器的工艺简单,成本低。

技术领域

本发明涉及传感器制造技术领域。具体地,本发明涉及柔性压力传感器及其制备方法。

背景技术

压力传感器是一种通过捕捉敏感材料受力时的电性能变化,将力信号转换为电信号输出的装置。压力传感器的应用已经深入到人们生活的许多方面,如航空航天、国防、军事、水利水电、资源开发、铁路船舶交通、医疗诊断、电子触摸屏、电子秤等。

目前,压力传感器多数是基于金属、半导体应变片等刚性敏感材料制作而成,其缺点是脆性大、应变小,缺乏柔韧性,舒适性差。然而,人体健康、康复医疗、体育锻炼、运动生物学等领域均有对传感器柔韧性的要求,如研究糖尿病患者的糖尿病足与地面接触压力的分布,刚性传感器难以与患者足底完全接触,这就难以获取病足的完整病变情况。

因此,需要使得压力传感器柔性化,从而能够测量复杂形状表面上的接触应力变化。

CN106370327A公开了一种柔性压力传感器,其包括相对设置的两个电极结构,每一电极结构包括柔性衬底以及设置在所述柔性衬底上的导电层,所述两个电极结构的导电层相互朝向地接触连接;其中,所述柔性衬底包括衬底本体及设置于所述衬底本体上的多个凸结构,所述导电层覆设在所述柔性衬底的具有多个凸结构的表面上。所述柔性衬底的材料选自聚二甲基硅氧烷、乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯醇、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、芳香族无规共聚物、丁苯橡胶、聚氨酯类弹性体、聚烯烃类弹性体和聚酰胺类弹性体中的任一种。

然而,许多柔性材料的电学性能在应力下变化很小,导致由其制备的柔性压力传感器对压力变化不敏感。

因此,本领域中仍需要对压力变化敏感的柔性压力传感器。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种柔性压力传感器,其对压力变化敏感。

因此,根据本发明的第一方面,提供一种柔性压力传感器,其特征在于,其包括:

a)基底;

b)经由铬或钛涂层附着在所述基底上的叉指电极;和

c)在所述叉指电极上的发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材,其包含热塑性聚氨酯树脂与导电碳材料。

根据本发明的第二方面,提供上述柔性压力传感器的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:

I)在所述基底上施加铬或钛涂层;

II)在所述铬或钛涂层上设置所述叉指电极;和

III)将所述发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材固定在所述叉指电极上以形成所述柔性压力传感器。

本发明的柔性压力传感器具有良好的柔性、高弹性和压敏特性,并且其稳定性好。同时制备本发明的柔性压力传感器的工艺简单,成本低。

附图说明

在下文中,将结合附图对本发明进行示例说明,其中:

图1是根据本发明的一个实施方案的柔性压力传感器的结构示意图,a:主视图,b:俯视图,其中①表示基底;②表示叉指电极;③表示发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材。

图2显示了实施例1-5和对比实施例1制备的柔性压力传感器的压力-电容响应曲线,其中纵坐标ΔC=Cp-Co,Cp是不同压缩比例下的电容,Co是未被压缩时的电容。

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