[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 202010262657.0 | 申请日: | 2020-04-03 |
公开(公告)号: | CN113555494A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 周龙涛;黄佳;陈绍江 | 申请(专利权)人: | 科思创德国股份有限公司;同济大学 |
主分类号: | H01L41/113 | 分类号: | H01L41/113;H01L41/047;H01L41/18;H01L41/22;G01L1/16;G01L9/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 段菊兰;邵长准 |
地址: | 德国勒*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
本发明涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。所述柔性压力传感器包括a)基底;b)经由铬或钛涂层附着在所述基底上的叉指电极;和c)在所述叉指电极上的发泡的热塑性聚氨酯‑碳复合片材,其包含热塑性聚氨酯树脂与导电碳材料。本发明的柔性压力传感器具有良好的柔性、高弹性和压敏特性,并且其稳定性好。同时制备本发明的柔性压力传感器的工艺简单,成本低。
技术领域
本发明涉及传感器制造技术领域。具体地,本发明涉及柔性压力传感器及其制备方法。
背景技术
压力传感器是一种通过捕捉敏感材料受力时的电性能变化,将力信号转换为电信号输出的装置。压力传感器的应用已经深入到人们生活的许多方面,如航空航天、国防、军事、水利水电、资源开发、铁路船舶交通、医疗诊断、电子触摸屏、电子秤等。
目前,压力传感器多数是基于金属、半导体应变片等刚性敏感材料制作而成,其缺点是脆性大、应变小,缺乏柔韧性,舒适性差。然而,人体健康、康复医疗、体育锻炼、运动生物学等领域均有对传感器柔韧性的要求,如研究糖尿病患者的糖尿病足与地面接触压力的分布,刚性传感器难以与患者足底完全接触,这就难以获取病足的完整病变情况。
因此,需要使得压力传感器柔性化,从而能够测量复杂形状表面上的接触应力变化。
CN106370327A公开了一种柔性压力传感器,其包括相对设置的两个电极结构,每一电极结构包括柔性衬底以及设置在所述柔性衬底上的导电层,所述两个电极结构的导电层相互朝向地接触连接;其中,所述柔性衬底包括衬底本体及设置于所述衬底本体上的多个凸结构,所述导电层覆设在所述柔性衬底的具有多个凸结构的表面上。所述柔性衬底的材料选自聚二甲基硅氧烷、乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯醇、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、芳香族无规共聚物、丁苯橡胶、聚氨酯类弹性体、聚烯烃类弹性体和聚酰胺类弹性体中的任一种。
然而,许多柔性材料的电学性能在应力下变化很小,导致由其制备的柔性压力传感器对压力变化不敏感。
因此,本领域中仍需要对压力变化敏感的柔性压力传感器。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种柔性压力传感器,其对压力变化敏感。
因此,根据本发明的第一方面,提供一种柔性压力传感器,其特征在于,其包括:
a)基底;
b)经由铬或钛涂层附着在所述基底上的叉指电极;和
c)在所述叉指电极上的发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材,其包含热塑性聚氨酯树脂与导电碳材料。
根据本发明的第二方面,提供上述柔性压力传感器的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:
I)在所述基底上施加铬或钛涂层;
II)在所述铬或钛涂层上设置所述叉指电极;和
III)将所述发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材固定在所述叉指电极上以形成所述柔性压力传感器。
本发明的柔性压力传感器具有良好的柔性、高弹性和压敏特性,并且其稳定性好。同时制备本发明的柔性压力传感器的工艺简单,成本低。
附图说明
在下文中,将结合附图对本发明进行示例说明,其中:
图1是根据本发明的一个实施方案的柔性压力传感器的结构示意图,a:主视图,b:俯视图,其中①表示基底;②表示叉指电极;③表示发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材。
图2显示了实施例1-5和对比实施例1制备的柔性压力传感器的压力-电容响应曲线,其中纵坐标ΔC=Cp-Co,Cp是不同压缩比例下的电容,Co是未被压缩时的电容。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科思创德国股份有限公司;同济大学,未经科思创德国股份有限公司;同济大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010262657.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种钻井液性能参数自动调节系统
- 下一篇:深度手势识别方法及其系统和电子设备