[发明专利]一种压缩超快的成像型任意反射面速度干涉仪

权利要求书

1.一种压缩超快的成像型任意反射面速度干涉仪，其特征在于，它包括光源与目标靶系统（100）、标准具干涉系统（200）、压缩超快成像系统（300）、时序控制系统（400）及数据处理系统（500）；

所述光源与目标靶系统（100）由纳秒激光器（1）、第一凸透镜（2）、第一分束镜（3）、第二凸透镜（4）、第三凸透镜（5）、石英玻璃片（6）、目标靶（7）及第四凸透镜（8）构成，所述纳秒激光器（1）、第一凸透镜（2）及第一分束镜（3）依次光路连接，第一分束镜（3）将光路分为两路，其一路与第二凸透镜（4）、第三凸透镜（5）、石英玻璃片（6）及目标靶（7）依次光路连接，另一路与第四凸透镜（8）光路连接；

所述标准具干涉系统（200）由第二分束镜（9）、标准具（10）、全反射镜（11）及第三分束镜（12）构成，所述第二分束镜（9）将光路分为两路，其一路与标准具（10）光路连接，另一路与全反射镜（11）光路连接，标准具（10）、全反射镜（11）分别与第三分束镜（12）光路连接；

所述压缩超快成像系统（300）由第五凸透镜（13）、第四分束镜（14）、第六凸透镜（15）、数字微镜器件（16）及条纹相机（17）构成，所述第五凸透镜（13）与第四分束镜（14）光路连接，所述第四分束镜（14）将光路分为两路，其一路与第六凸透镜（15）及数字微镜器件（16）依次光路连接，另一路与条纹相机（17）光路连接；

所述时序控制系统（400）由数字延时发生器（18）构成；

所述数据处理系统（500）由计算机（19）构成；

所述光源与目标靶系统（100）的第四凸透镜（8）与标准具干涉系统（200）的第二分束镜（9）光路连接；

所述光源与目标靶系统（100）的纳秒激光器（1）与时序控制系统（400）的数字延时发生器（18）电连接；

所述光源与目标靶系统（100）的目标靶（7）与时序控制系统（400）的数字延时发生器（18）电连接；

所述标准具干涉系统（200）的第三分束镜（12）与压缩超快成像系统（300）的第五凸透镜（13）光路连接；

所述压缩超快成像系统（300）的条纹相机（17）分别与时序控制系统（400）的数字延时发生器（18）及数据处理系统（500）的计算机（19）电连接；

所述压缩超快成像系统（300）的数字微镜器件（16）与数据处理系统（500）的计算机（19）电连接。