[发明专利]减压干燥装置

权利要求书

1.一种使涂敷于基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其特征在于：

包括溶剂收集部，其暂时收集从所述基板气化了的所述溶液中的溶剂，

所述溶剂收集部以与所述基板相对的方式配置，且被划分为多个区域，在所述多个区域各自形成有开口，

所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的每单位面积的热容根据与该区域相对的基板中的部分而不同。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的开口率根据与该区域相对的基板中的部分而不同。

3.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的厚度根据与该区域相对的基板中的部分而不同。

4.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集部被划分为与基板角部相对的区域和与基板中央部相对的区域。

5.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述基板在干燥后被分割为多个面板，

所述溶剂收集部被划分为：

与所述基板中的相当于面板角部的部分相对的区域；和

与所述基板中的相当于面板中央部的部分相对的区域。

6.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述基板在干燥后被分割为多个面板，

所述溶剂收集部被划分为：

与基板中央部中的相当于面板中央部的部分相对的区域；

与基板中央部中的相当于面板角部的部分或者基板角部中的相当于面板中央部的部分相对的区域；和

与基板角部中的相当于面板角部的部分相对的区域。

7.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

包括多个所述溶剂收集部，

所述基板在干燥后被分割为多个面板，

多个所述溶剂收集部以层叠的方式配置，包括：被划分为与基板角部相对的区域和与基板中央部相对的区域的所述溶剂收集部；以及被划分为与所述基板中的相当于面板角部的部分相对的区域和与所述基板中的相当于面板中央部的部分相对的区域的所述溶剂收集部。

8.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述开口的俯视时的形状为六边形、圆形、四边形和三角形中的任一者或者任意两者以上的组合。