[发明专利]节约光阻液的光阻液喷涂系统

权利要求书

1.一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：

储液罐，用于储存和供应光阻液；

第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；

缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间；

光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端；

所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。

2.如权利要求1所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述回抽管安装有液体阀和回抽液体传感器的至少其中之一。

3.如权利要求2所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述缓冲器连接有排气管；所述排气管安装有排气阀和气体传感器的至少其中之一。

4.如权利要求3所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，还包括第二过滤器，所述第二过滤器与所述第一过滤器并列连接在所述储液罐与所述缓冲器之间。

5.如权利要求4所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述第一过滤器和所述第二过滤器的前端通过第一三通阀连接所述储液罐，所述第一过滤器和所述第二过滤器的后端通过第二三通阀连接所述缓冲器。

6.如权利要求5所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述第一过滤器的前端与所述储液罐之间具有单向控制阀；所述回抽管第二端连接在所述单向控制阀和所述缓冲器之间。

7.如权利要求1或6所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述第一过滤器的后端与所述缓冲器之间具有过滤液体传感器。

8.如权利要求7所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述缓冲器的后端还具有使用控制阀。

9.如权利要求8所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述使用控制阀的后端还具有喷嘴机构。

10.如权利要求9所述的光阻液剂涂布系统，其特征在于，所述缓冲器和所述喷嘴机构之间还具有供应液体传感器。