[发明专利]一种终端极化电路、及终端极化装置

说明书

本发明公开了一种终端极化电路，包括：M个极化器，每个极化器均包括充电限流电阻、终端匹配电阻和二极管组，M大于等于10，每个极化器的特征阻抗小于等于50Ω；二极管组包括两个以上串联的二极管，终端匹配电阻的一端接地，终端匹配电阻的另一端连接二极管组的一端；充电限流电阻的一端作为极化器的输入端，充电限流电阻的另一端连接二极管组的另一端并作为极化器的输出端；M个极化器的输入端相连并用于接收充电电压，每个极化器的输出端用于对应连接一条脉冲发生段传输线。本发明可以获得纳秒量级1000A电流脉冲发生能力，可以提高电学闩锁测试系统的测试能力，从而满足功率器件电学闩锁测试需求。同时，本发明还公开了一种终端极化装置。

技术领域

本发明涉及半导体器件与集成电路测试装备技术领域，尤其涉及一种基于传输线脉冲发生技术的电学闩锁测试系统大功率终端极化电路、及终端极化装置。

背景技术

终端极化装置是传输线脉冲发生系统中最重要的部件之一，其作用主要有两点，一是终端极化装置需承受极高的反向偏压以满足传输段传输线充电需求，此外终端极化装置承担系统末端吸收反射波的作用，通过末端阻抗匹配及二极管单向导通特性可阻止反射波继续在系统中传递，以产生方波脉冲。

传输线脉冲发生技术作为功率脉冲领域重要的脉冲发生技术，常用于静电防护测试装备-传输线脉冲发生器(TLP)及闩锁(Latch-up)测试系统当中。但由于器件设计能力的不断提升，制造工艺的不断进步，市场需求的不断发展，器件的功率能力也随之在逐步的提升。尤其是功率器件电流能力已经到达数十安培甚至高达一百安培，功率提升的同时对相关测试系统及技术提出了更高的要求。

目前，电学闩锁测试系统只能满足5安培以下器件电学闩锁测试需求，无法提供更大功率测试能力；而功率器件电学特性测试系统脉宽过大，通常在微秒量级，进行闩锁测试会出现热烧毁现象，同样无法满足功率器件电学闩锁测试需求。大功率终端极化技术为闩锁测试系统纳秒级功率脉冲发生的核心技术瓶颈之一。

发明内容

本申请实施例通过提供一种终端极化电路、及终端极化装置，解决了现有技术中的电学闩锁测试系统只能满足5安培以下器件电学闩锁测试需求，无法提供更大功率测试能力的技术问题，实现了在5000V量级充电电压下，可以获得纳秒量级1000A电流脉冲发生能力，从而提高电学闩锁测试系统的测试能力，满足功率器件电学闩锁测试需求的技术效果。

一方面，本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：

一种终端极化电路，应用于电学闩锁测试系统中，包括：

M个极化器，每个所述极化器均包括充电限流电阻、终端匹配电阻和二极管组，M大于等于10，每个所述极化器的特征阻抗小于等于50Ω；

所述二极管组包括两个以上串联的二极管，所述终端匹配电阻的一端接地，所述终端匹配电阻的另一端连接所述二极管组的一端；

所述充电限流电阻的一端作为所述极化器的输入端，所述充电限流电阻的另一端连接所述二极管组的另一端并作为所述极化器的输出端；

M个所述极化器的输入端相连并用于接收充电电压，每个所述极化器的输出端用于对应连接一条脉冲发生段传输线。

优选地，所述二极管组的总耐压能力大于5000V。

优选地，所述二极管组，包括：

5个二极管，所述二极管选用1200V耐压的低寄生碳化硅或肖特基二极管。

优选地，所述的终端极化电路，还包括：

高阻抗功率模块，所述高阻抗功率模块的一端与第一极化器的输出端连接，所述高阻抗功率模块的另一端用于连接电压电流探测装置，所述第一极化器为所述M个极化器中的任一极化器；