[发明专利]柔性基板及其制作方法、显示面板

权利要求书

1.一种柔性基板，其特征在于，所述柔性基板包括第一衬底、位于所述第一衬底上的第二衬底、及位于所述第二衬底上的第三衬底；

所述第一衬底的材料包括第一物质；

所述第二衬底的材料包括第二物质；

所述第三衬底的材料包括第三物质；

所述第一物质、所述第二物质、及所述第三物质的结构通式为

其中，所述第二物质中的N与(M+N)的比值大于所述第一物质中的N与(M+N)的比值，所述第二物质中的N与(M+N)的比值大于所述第三物质中的N与(M+N)的比值，R₁和/或R₂和/或R₃中包括四元环、五元环、苯环、联苯环及奈环中的一种或多种，R₄为烷基链，所述第一物质中的M与(M+N)的比值为75～95％，所述第二物质中的N与(M+N)的比值大于80％，所述第三物质中的M与(M+N)的比值为75～95％。

2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，R₁和/或R₂和/或R₃中还包括氟取代基、甲苯及苯环中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述第一衬底、所述第二衬底、及所述第三衬底在300nm～320nm的光学透过率小于0.1％。

4.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述第一衬底的厚度大于所述第二衬底的厚度，所述第二衬底的膜厚大于所述第三衬底的厚度。

5.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：

在玻璃基板上形成第一膜层，将所述第一膜层经第一工艺形成第一预衬底；

在所述第一预衬底上形成第二膜层，将所述第二膜层经第二工艺形成第二预衬底；

在所述第二预衬底上形成第三膜层，将所述第三膜层经第三工艺形成第三预衬底；

将所述第一预衬底、第二预衬底、及第三预衬底经第四工艺形成第一衬底、第二衬底、及第三衬底；

利用激光将所述玻璃基板与所述第一衬底分离，以形成所述柔性基板；

其中，所述第一衬底的材料包括第一物质，所述第二衬底的材料包括第二物质，所述第三衬底的材料包括第三物质，所述第一物质、所述第二物质、及所述第三物质的结构通式为

所述第二物质中的N与(M+N)的比值大于所述第一物质中的N与(M+N)的比值，所述第二物质中的N与(M+N)的比值大于所述第三物质中的N与(M+N)的比值，R₁和/或R₂和/或R₃中包括四元环、五元环、苯环、联苯环及奈环中的一种或多种，R₄为烷基链，经过第四工艺后，所述第一物质中的亚胺化度大于或等于99％，所述第二物质的亚胺化度大于或等于99％，所述第三物质的亚胺化度大于或等于99％。

6.根据权利要求5所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，所述第一膜层的材料包括第四物质，所述第二膜层的材料包括第五物质，所述第三膜层的材料包括第六物质，所述第四物质、所述第五物质、及所述第六物质的结构通式为

7.根据权利要求5所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，

所述第一预衬底的材料包括第七物质，所述第二预衬底的材料包括第八物质，所述第三预衬底的材料包括第九物质；

经过所述第一工艺后，所述第七物质的亚胺化度小于30％；

经过所述第二工艺后，所述第八物质的亚胺化度小于30％；

经过所述第三工艺后，所述第九物质的亚胺化度小于30％。

8.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括如权利要求1～4中任意一项所述的柔性基板。