[发明专利]近零厚度纳米孔制备及DNA测序方法

权利要求书

1.近零厚度纳米孔制备及DNA测序方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

S1：近零厚度纳米孔制备；

S2：近零厚度纳米孔DNA单碱基识别。

2.根据权利要求1所述的近零厚度纳米孔制备及DNA测序方法，其特征在于：所述S1具体为：

准备好氮化硅绝缘薄膜衬底；

利用电子束光刻技术，采用灰化工艺或侧墙工艺在氮化硅绝缘薄膜上形成硅纳米线，硅纳米线的尺寸将决定纳米孔的大小；其中，硅纳米线的厚度10-20纳米，宽度为5-10纳米，长度为50纳米-200纳米；

然后，在形成了硅纳米线的淡化硅绝缘薄膜上生长一层二氧化硅薄膜，将硅纳米线覆盖住，二氧化硅薄膜厚度15-25纳米；利用化学机械抛光法将硅纳米线曝露出来；

在暴露出来的硅纳米线垂直方向，利用前述电子束光刻技术形成第二层硅纳米线；其中，该硅纳米线的厚度10-20纳米，宽度为5-10纳米，长度为50纳米-200纳米；在其上生长一层二氧化硅，覆盖在硅纳米线上；

接着，使用光学或电子束光刻在芯片上端硅纳米线区域形成一个通气孔；使用反应离子刻蚀在底部的氮化硅薄膜上开一个窗口，窗口大小为10-20微米；

最后，利用二氟化氙XeF₂将两层硅纳米线刻蚀掉，制作完成近零厚度的纳米孔。

3.根据权利要求1所述的近零厚度纳米孔制备及DNA测序方法，其特征在于：所述S2具体为：

利用制备好的近零厚度纳米孔，集成纳米孔检测器件，优选缓冲液浓度、PH值、溶液温度和驱动电压，采用膜片钳技术，实现DNA在近零厚度纳米孔传输时的弱电流信号检测，并利用化学计量学方法，提取DNA传输特征信息，结合贝叶斯推理、神经网络方法，实现DNA单碱基的识别。

4.根据权利要求3所述的近零厚度纳米孔制备及DNA测序方法，其特征在于：所述DNA传输特征信息包括阻塞时间、阻塞电流和基线电流。