[发明专利]气体置换用干燥房在审
| 申请号： | 202010268559.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN112007470A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 田中亘;西国原仁美;河口和彦;岩崎麻由;江岛宽明 | 申请（专利权）人： | 株式会社西部技研 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/26;B01D53/28;H01L51/56 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金辉;崔炳哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 置换 干燥 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体置换用干燥房，其特征在于，
设置连接了干燥空气供给装置及非活性气体供给装置的气密室，在低露点气体供给装置的后部连接非活性气体精制装置而形成一体型，通过了所述低露点气体供给装置的气体通过所述非活性气体精制装置，在所述气密室中经由去除异物的过滤器而供给通过了所述低露点气体供给装置的低露点气体，所述气体置换用干燥房具备使所述气密室内部的气体向所述低露点气体供给装置进行再循环的管路。
2.根据权利要求1所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
设置了切换机构以便通过了所述低露点气体供给装置的气体旁通所述气密室而不通过所述非活性气体精制装置。
3.根据权利要求1或2所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
所述气密室由一个或者多个构成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
异物去除过滤器为内置有HEPA过滤器和/或ULPA过滤器的风机过滤器。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
所述非活性气体精制装置为内置有以铜和/或铂为主成分的催化剂的氮气精制机。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
所述低露点气体供给装置为干燥剂除湿机。
7.根据权利要求6所述的气体置换用干燥房，其特征在于，
通过了所述干燥剂除湿机的净化区域的空气被供给到所述非活性气体精制装置中。
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