[发明专利]一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人

权利要求书

1.一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，包括底板（1）、通过支撑柱连接在底板（1）上的顶板（2）和安装在底板（1）上的且其膜表面均布有元件容置井的元件固定膜料卷（3），以及沿元件固定膜传送方向依次设置的电泳排列槽（4）、第一水洗槽（5）、第二水洗槽（6）、常温氮气烘干箱（7），所述顶板（2）的一端沿其长度方向设有U形缺口，所述电泳排列槽（4）、第一水洗槽（5）、第二水洗槽（6）安装在底板（1）上并分别位于顶板（2）的U形缺口下方，所述常温氮气烘干箱（7）安装在顶板（2）的另一端上，所述顶板（2）上对应安装有多个用于传送元件固定膜的第一辊轴件；

所述电泳排列槽（4）包括电泳槽（41）、热交换器（42）、阳极板（43）、阴极板（44）以及用于传送元件固定膜的第二辊轴件（45），所述电泳槽（41）固定在底板（1）上，所述热交换器（42）固定在电泳槽（41）的外壁上，所述第二辊轴件（45）固定在电泳槽（41）内的底部，所述阳极板（43）固定在电泳槽（41）的内壁并与第二辊轴件（45）平行，所述热交换器（42）与阳极板（43）分别设于电泳槽（41）相邻的两个槽壁上，所述阴极板（44）固定在第二辊轴件（45）上并与阳极板（43）平行，所述热交换器（42）设有出液板（421）和进液板（422），所述出液板（421）、进液板（422）分别设于电泳槽（41）相对的两个内壁上，且均与阳极板（43）、阴极板（44）平行，所述出液板（421）位于阳极板（43）与电泳槽（41）的内壁之间，所述阴极板（44）靠近进液板（422）设置；

其中两个位于电泳排列槽（4）上方的所述第一辊轴件分别对应设有一排预热氮气喷嘴（10）、冷却氮气喷嘴（20），且所述预热氮气喷嘴（10）靠近元件固定膜料卷（3）设置；

所述第一水洗槽（5）、第二水洗槽（6）内的底部分别设有用于传送元件固定膜的第三辊轴件；

所述常温氮气烘干箱（7）包括氮气烘干罩以及两个分别设于氮气烘干罩内底部和内顶部的静压氮气喷出板，所述氮气烘干罩通过两个烘干罩支架固定在顶板（2）上。

2.根据权利要求1所述的一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，所述第一水洗槽（5）的外壁设有过滤器（51），所述过滤器（51）用于将第一水洗槽（5）内含有Micro LED元件的液体过滤浓缩后注入热交换器（42）内。

3.根据权利要求1所述的一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，还包括电子束缺陷检测机构（8），所述电子束缺陷检测机构（8）设于顶板（2）的另一端并位于元件固定膜传送方向的前方。

4.根据权利要求3所述的一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，还包括激光烧蚀机构（9），所述激光烧蚀机构（9）设于顶板（2）的另一端并位于常温氮气烘干箱（7）与电子束缺陷检测机构（8）之间。

5.根据权利要求1-3所述的一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，还包括激光烧蚀机构（9），所述激光烧蚀机构（9）设于顶板（2）的另一端并位于常温氮气烘干箱（7）与电子束缺陷检测机构（8）之间。

6.根据权利要求1-3所述的一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，其特征在于，还包括激光烧蚀机构（9），所述激光烧蚀机构（9）设于顶板（2）的另一端并位于常温氮气烘干箱（7）与电子束缺陷检测机构（8）之间。