[发明专利]一种获取电路连线拓扑信息的方法、装置及设备

说明书

本发明公开了一种获取电路连线拓扑信息的方法，其包括如下步骤：S1，获取电路版图图案；S2，根据所述电路版图图案获取所述版图图案的所有边；S3，在互相平行的边中，获取相互对应关系的边；其中相对应的边为两条线段互相之间有投影且两条线段的中心线在多边形内；S4，从不平行的边中，获取相互对应的边；S5，根据所述相互对应的边获取中心线段；S6，根据所述中心线段获取所述电路连线拓扑信息。本发明通过获取版图图案，并根据电路版图图案的边的信息，通过求解边的中心线段的方式，获取电路版图对应的电路连线的拓扑信息。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，具体来说，涉及一种获取电路连线拓扑信息的方法。

背景技术

给出集成电路版图，为了反推电路连线并进行分析，需要提取包括版图布线图案的中心线。参考图1，版图图案可看成由一系列多边形构成的图案，对其中每个版图多边形求中心线，可以代表该多边形的走向和形态。

除了图1规则的直角多边形之外，有些版图进行光学邻近校正(OPC)后，图案会变得不那么规则，如图2所示。如果给出的版图掩模版，是OPC后的图案(图2(b))，则需要计算OPC之前版图图案(图2(a))的中心线。

本文提供的背景描述用于总体上呈现本公开的上下文的目的。除非本文另外指示，在该章节中描述的资料不是该申请的权利要求的现有技术并且不要通过包括在该章节内来承认其成为现有技术。

发明内容

针对相关技术中的上述技术问题，本发明提出一种获取电路连线拓扑信息的方法，能够获取从电路版图中获取电路连线拓扑信息。

为实现上述技术目的，本发明的实施例提供了一种获取电路连线拓扑信息的方法，其包括如下步骤：

S1，获取电路版图图案；

S2，根据所述电路版图图案获取所述版图图案的所有边；

S3，在互相平行的边中，获取相互对应关系的边；其中相对对应的边为两条线段互相之间有投影且两条线段的中心线在多边形内；

S4，从不平行的边中，获取相互对应的边；

S5，根据所述相互对应的边获取中心线段；

S6，根据所述中心线段获取所述电路连线的拓扑信息。

进一步的，步骤S3具体包括：

S31,判断两条边是否平行；不平行，则返回不相互对应；平行，则继续；

S32,判断两条平行边是否有重合区间；没有，则返回不相互对应；有，则继续；

S33，判断两条既平行又有重合区间的边的中心线是否在多边形内；不在，则返回；在，则返回两条边相互对应。

进一步的，步骤S4具体包括：

S41，判断这两条边是否有重合区间；没有，则返回不相互对应；有，则继续；

S42，这两条边形成的中心线是否在多边形内；在，则返回两条边相互对应。

进一步的，步骤S5具体包括：

S51，当一条边只和另外一条边相互对应时，直接求中心线段；

S52，当一条边和多条边相互对应时，则先把多条边合并成一条，再求中心线段。

进一步的，步骤S6之后还包括如下一个或多个步骤：

S7，删杂边：删除距离其他中心线段的距离大于自身长度的中心线段；

或/和

S8，合并平行线：合并平行有投影重合且距离小于一阈值的中心线段；