[发明专利]柔性电容式温度传感器及其制作方法

权利要求书

1.柔性电容式温度传感器，其特征在于，所述柔性电容式温度传感器为顺排六方氮化硼/PVDF薄膜层、MXene/PVA薄膜层、六方氮化硼/PVDF薄膜层的三明治结构，所述三明治结构的上下外表面分别镀有金电极，以形成所述柔性电容式温度传感器的上、下电极。

2.根据权利要求1所述的柔性电容式温度传感器，其特征在于，所述六方氮化硼/PVDF薄膜层中，六方氮化硼含量为8.0wt％。

3.根据权利要求1所述的柔性电容式温度传感器，其特征在于，所述MXene/PVA薄膜层中，MXene含量为2.5wt％。

4.柔性电容式温度传感器的制作方法，其特征在于，包括：

S1.取一块载玻片先后放入无水乙醇、DI水中进行超声清洗，随后放入鼓风干燥箱中烘干保持恒温70℃；

S2.将预配置的六方氮化硼/PVDF混合溶液涂布到步骤S1得到的载玻片上，在烘干箱内70℃下进行烘干得到六方氮化硼含量为8.0wt％的六方氮化硼/PVDF薄膜；

S3.对烘干后固化成型的六方氮化硼/PVDF薄膜进行退火处理；

S4.将预配置的MXene/PVA混合悬浮液进行超声处理，使其充分混合；

S5.将MXene/PVA混合悬浮液涂覆在步骤S3得到的六方氮化硼/PVDF薄膜上，然后在40℃下烘干，得到MXene含量为2.5wt％的MXene/PVA薄膜；

S6.重复步骤S2和S3，将得到的六方氮化硼/PVDF薄膜涂覆于步骤S5形成的结构上，制得顺排六方氮化硼/PVDF薄膜层、MXene/PVA薄膜层、六方氮化硼/PVDF薄膜层的三明治结构；

S7.利用溅射镀膜技术在所述三明治结构的上下外表面镀上金电极。

5.根据权利要求4所述的柔性电容式温度传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S1具体为：取一块载玻片先后放入无水乙醇、DI水中分别进行超声清洗20min，随后放入鼓风干燥箱中烘干保持恒温70℃。

6.根据权利要求4所述的柔性电容式温度传感器的制作方法，其特征在于，所述六方氮化硼/PVDF混合溶液的预配置步骤包括：称取PVDF粉末2.5g，在60℃下通过磁力搅拌完全溶解在DMF溶剂中，得到PVDF溶液；称取六方氮化硼纳米片0.2g并通过超声处理溶解在DMF溶液中，得到和六方氮化硼悬浮液；将所述PVDF溶液和六方氮化硼悬浮液进行混合，在室温下通过磁力搅拌直至混合液无气泡产生。

7.根据权利要求4所述的柔性电容式温度传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：将烘干后固化成型的六方氮化硼/PVDF薄膜放置在减压炉中以180℃退火6小时。

8.根据权利要求4所述的柔性电容式温度传感器的制作方法，其特征在于，所述MXene/PVA混合悬浮液的预配置步骤包括：称取MXene粉末0.1g溶于DI水中，得到MXene溶液；往所述MXene溶液中加入4gPVA溶液进行混合，对混合溶液进行超声处理。