[发明专利]一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法

说明书

本申请涉及一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法，装置包括光学平台、位于光学平台上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计；每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源、精密光阑、盲板、滤光片组、衰减片组；三套校准基本单元的紫外光源分别为位于中间位置的第一紫外光源、位于后方的第二紫外光源和位于前方的第三紫外光源；三个非相干的紫外光源发射出的光经精密光阑、滤光片组、衰减片组后汇聚于标准紫外辐照度计接收器中心，被校紫外辐照度计放置与中间位置衰减片组后面，被校紫外辐照度计与衰减片组中心在同一水平线上。本申请校准设备少，无光轨等设备，操作简单、成本低，装置体积小，可携带进行现场计量。

技术领域

本发明涉及光电技术领域，尤其涉及一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法。

背景技术

紫外探测技术是继红外和激光探测技术之后发展起来的又一军民两用的光电探测技术，高灵敏的紫外探测器还广泛用于火焰传感、臭氧检测、激光探测、荧光分析以及天文学研究等诸多领域。紫外辐照度计是一种检测紫外光源辐射强度的重要仪器,广泛应用于紫外探测、医疗、防疫、节能环保、光电反应等领域。

国际上通用的紫外波段定标技术是以低温辐射计作为绝对标准探测器,以陷阱探测器及热电探测器作为传递标准探测器,将紫外波段的标准传递给待测硅探测器。中国计量研究院经过多年的深入研究，以NIST紫外标准探测器为核心,构建了一套高精度紫外辐射计。对装置内各元件进行性能测试,并对整套装置稳定性进行评价,在此基础上推导出高精度紫外辐射计自身响应度标准。从而研制出国内第一台具有高精度,高稳定性及自身响应度标准的紫外辐射计。国内的各大光学计量站：江苏省计量科学研究院、中国测试技术研究院中测测试技术科技有限公司、国防科技工业光学一级计量站(西安应用光学研究所光学校准检测实验室)等，均采用中国计量科学研究院研制的高精度紫外辐射计建立紫外辐射计校准装置，依据《JJG879-2015紫外辐射照度计检定规程》，采用标准紫外辐照度计比对法，进行量值传递工作。由于中国计量科学研究院研制的高精度紫外辐射计主要针对应用在无损检测、光刻、消毒、固化等领域的紫外辐射照度计,辐射功率大于10μW。不能满足低值辐照度计的溯源需求。同时，由于100nm～200nm的紫外辐射在空气中被强烈吸收，《JJG879-2015紫外辐射照度计检定规程》规定的校准方法对100nm～200nm的紫外辐射不适用，导致100nm～200nm的紫外辐射无法溯源。

因此，研制一种紫外辐照度计低值校准装置是非常必要的，并且该装置也有重要的应用前景。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法。

第一方面，提供了一种紫外辐照度计低值校准装置，包括光学平台、位于光学平台上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计；每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源、精密光阑、盲板、滤光片组、衰减片组；三套校准基本单元的紫外光源分别为位于中间位置的第一紫外光源、位于后方的第二紫外光源和位于前方的第三紫外光源；三个非相干的紫外光源发射出的光经精密光阑、滤光片组、衰减片组后汇聚于标准紫外辐照度计接收器中心，被校紫外辐照度计放置与中间位置衰减片组后面，被校紫外辐照度计与衰减片组中心在同一水平线上。

优选地，精密光阑为带有精准刻度的一级精密光阑。

优选地，紫外光源外壳设计为小型暗箱。

优选地，滤光片组为窄带滤光片。

优选地，被校紫外辐照度计探测面中心至小孔成像光源中心连线与紫外光源光轴之间的夹角不大于15°。