[发明专利]烘烤设备的操作方法

说明书

本申请公开了一种烘烤设备的操作方法，所述烘烤设备包括加热板、夹持装置以及移载装置，所述夹持装置设置于所述加热板上方，以将基板固定于所述加热板上方，所述加热板上设置有相交错的多个吹气孔和多个支撑孔，所述多个吹气孔用于向所述基板吹气，形成气浮，所述移载装置穿过所述多个支撑孔以支撑所述基板，相比于现有技术，本申请通过将基板与加热板分离，提高了基板的受热均匀性，保证了成膜的膜厚均一性，形成气浮以提高基板的平坦度，并设置可灵活取放基板的移载装置以提高烘烤操作的效率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及显示面板制程技术领域，具体涉及一种烘烤设备的操作方法。

背景技术

目前，在显示面板制程中，有机溶液成膜的一种制作过程为：在洁净的基板上涂布溶液，对涂布在基板上的溶液进行烘烤，蒸发溶液内的溶剂而初步成膜。

但是，在使用现有的烘烤设备对基板进行烘烤时，基板将与烘烤设备中的承载机构接触，从而导致基板受热不均，影响溶剂的蒸发速率，导致干燥后形成的有机膜层的膜厚不均一，进而影响产品品质。

发明内容

本申请实施例提供一种烘烤设备，可以减少基板与烘烤设备的接触面积，可以使得基板受热均匀，可以提高基板上的有机膜层的膜厚均一性，提升产品品质。

本申请实施例提供一种烘烤设备，包括：

加热板，用于对所述加热板上方的基板进行加热，且所述加热板中设置有相互交错的多个吹气孔和多个支撑孔；

夹持装置，包括一对或多对设置于所述加热板上方相对两侧的夹具，所述夹持装置用于将所述基板固定于所述加热板上方；

移载装置，设置于所述加热板下方，且所述移载装置包括升降台以及凸出于所述升降台上表面并与所述多个支撑孔相对应的多个支撑件。

在本申请的一种实施例中，所述多个支撑件中每一者的高度均大于所述加热板的厚度。

在本申请的一种实施例中，所述升降台上下移动的距离范围小于所述多个支撑件的高度。

在本申请的一种实施例中，所述加热板上设置有多列吹气孔和多列支撑孔，且所述多列吹气孔与所述多列支撑孔相间分布。

在本申请的一种实施例中，所述多个支撑件包括与所述多列支撑孔一一对应的多列支撑柱，所述多列支撑孔中的每一列均包括多个相互间隔的支撑孔，所述多列支撑柱中的每一列均包括多个相互间隔的支撑柱，当所述升降台上升时，所述多列支撑柱中的每一列皆由其对应的一列支撑孔中穿过。

在本申请的一种实施例中，所述加热板上设置有多列吹气孔以及在列方向上延伸且彼此平行的多个支撑孔，且所述多列吹气孔与所述多个支撑孔相间分布，其中，所述多个支撑件包括与所述多个支撑孔相对应的多列支撑柱，且每个支撑孔的长度大于或等于其对应的一列支撑柱在列方向上的长度。

在本申请的一种实施例中，所述烘烤设备还包括供气装置、流量调节装置以及预热装置，其中，所述供气装置通过供气管与所述多个吹气孔相连通，且所述流量调节装置和所述预热装置设置于所述供气管上，用于调节通入所述多个吹气孔中气体的流量，以及对通入的气体进行加热。

根据本申请的上述目的，提供一种所述烘烤设备的操作方法，所述方法包括：

所述移载装置上升至第一位置，并放置所述基板于所述移载装置上；

所述移载装置下降至第二位置，所述夹持装置固定所述基板边缘；

所述移载装置下降至第三位置，所述加热板进行加热且所述吹气孔向所述基板吹气，形成气浮；

所述基板烘烤完成后，所述移载装置上升至所述第二位置并支撑所述基板，且所述夹持装置与所述基板分离；以及

所述移载装置上升至所述第一位置，并取出所述基板。