[发明专利]承载机构

说明书

本公开涉及工件装载技术领域，提出了一种承载机构，用于夹紧基片，承载机构包括主框架和夹紧边部，夹紧边部设置在主框架上，夹紧边部包括夹紧边和弹性元件，夹紧边上设置有安装槽，弹性元件设置在安装槽内，安装槽包括斜边沟槽，斜边沟槽位于安装槽的中部；其中，夹紧边部成对设置，成对的两个夹紧边部相对可移动地设置，以将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。由于两个夹紧边之间的距离可调整，且在装载过程中仅需通过移动夹紧边部就可以完成对基片的夹紧，从而提高了基片的装夹效率，解决了现有技术中的基片装载效率较低的问题。

技术领域

本公开涉及工件装载技术领域，尤其涉及一种承载机构。

背景技术

石墨烯薄膜是透明导电薄膜的一种，因其具有良好的导电率及透明性，得到了广泛应用。石墨烯薄膜可以直接生长在玻璃基片、石英晶圆、蓝宝石晶圆等基片表面，目前石墨烯薄膜材料已经实现了中试级的规模生产，然而市场上石墨烯薄膜材料质量参差不齐，因此针对石墨烯薄膜材料的质量检测非常重要。石墨烯玻璃、石墨烯晶圆等基片通常是圆形或矩形的片状材料，其具有不同的规格尺寸。针对石墨烯薄膜材料性能的批量检测，可通过基片光学透光率和面电阻两项指标的快速获取实现。

在基片的检测过程中，需要对不同外形和不同尺寸的基片进行快速的装卡固定，为配合检测设备实现自动化，承载装置通常要求实现基片的自动对中，而且承载装置中间必须镂空，不能影响光学透光率的测量，另外要尽量减小装卡部位的面积，降低对测量有效面积的影响。在半导体设备中，对于硅片的承载，多采取手动在基片各边缘放置压紧机构的方式实现装载，这种技术方法效率低，无法配合自动化设备提高装载效率。

发明内容

本公开提供一种承载机构，以解决现有技术中的基片装载效率较低的问题。

本发明提供了一种承载机构，用于夹紧基片，承载机构包括：

主框架；

夹紧边部，夹紧边部设置在主框架上，夹紧边部包括夹紧边和弹性元件，夹紧边上设置有安装槽，弹性元件设置在安装槽内，安装槽包括斜边沟槽，斜边沟槽位于安装槽的中部；

其中，夹紧边部成对设置，成对的两个夹紧边部相对可移动地设置，以将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。

在本发明的一个实施例中，斜边沟槽包括相对的两个斜边，两个斜边间隔设置，且两个斜边之间的夹角为钝角；

其中，弹性元件的部分与两个斜边相贴合。

在本发明的一个实施例中，斜边沟槽为通槽。

在本发明的一个实施例中，安装槽的顶壁的宽度小于安装槽的底壁的宽度；

主框架上设置有刻度标记，刻度标记沿夹紧边部的移动方向设置。

在本发明的一个实施例中，弹性元件与安装槽相适配，弹性元件具有与安装槽形状相一致的容纳槽，容纳槽用于容纳基片的部分。

在本发明的一个实施例中，承载机构还包括：

丝杠组件，丝杠组件包括丝杠和丝杠螺母副，丝杠可转动地设置在主框架上，丝杠螺母副设置在丝杠上，且与夹紧边相连接，以使夹紧边部通过丝杠组件设置在主框架上；

其中，丝杠螺母副成对设置，成对的两个丝杠螺母副分别连接成对的两个夹紧边，以在丝杠转动时，两个丝杠螺母副带动两个夹紧边部沿相反的两个方向移动。

在本发明的一个实施例中，承载机构还包括：

光轴组件，光轴组件包括光轴和直线轴承，光轴设置在主框架上，直线轴承设置在光轴上；

其中，丝杠与光轴平行设置，直线轴承成对设置，成对的两个丝杠螺母副与成对的两个直线轴承一一相对应地设置，丝杠螺母副和直线轴承分别连接夹紧边的两端。