[发明专利]光刻胶涂布系统及方法

权利要求书

1.一种光刻胶涂布系统，其特征在于，包括：

控制装置；

第一泵，与所述控制装置电连接；

喷头装置，包括公共臂和设置在所述公共臂上的多个喷嘴，所述公共臂与所述控制装置相连接，所述喷嘴与所述第一泵相连接；

喷嘴清洗筒，用于清洗所述喷嘴；

多个光刻胶盛筒，用于盛放光刻胶以供所述喷嘴吸取；

所述光刻胶涂布系统还包括光刻胶过滤系统，所述光刻胶过滤系统包括通过管道依次连接的光刻胶罐、第二泵和过滤器，所述过滤器上连接有输出管，所述输出管用于将过滤后的光刻胶输入到所述光刻胶盛筒中，所述第二泵与所述控制装置电连接；

所述喷嘴包括壳体和设置于壳体内的流体管，所述流体管一端连接到所述第一泵上，另一端从所述壳体末端露出；

所述流体管上设置有阀门，所述阀门与所述控制装置相连接；

所述公共臂与所述控制装置通过传动装置相连接。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂布系统，其特征在于，所述传动装置为机械臂。

3.根据权利要求1所述的光刻胶涂布系统，其特征在于，设置在所述公共臂上的所述喷嘴的数量为2～10个。

4.一种光刻胶涂布方法，其特征在于，通过权利要求1-3任一项所述的光刻胶涂布系统实现，所述方法包括：

控制喷头装置的喷嘴插入有已过滤光刻胶的光刻胶盛筒内，启动第一泵，使所述喷嘴吸取所述光刻胶盛筒内的光刻胶；

控制所述喷嘴移动到晶圆上需要涂布光刻胶的部位的上方，喷洒光刻胶；

当需要更换另一种光刻胶时，控制所述喷嘴插入喷嘴清洗筒内清洗；

所述光刻胶涂布系统还包括通过管道依次连接的光刻胶罐、第二泵和过滤器，所述过滤器上连接有输出管，所述第二泵与所述控制装置电连接；所述方法还包括：控制启动第二泵，将光刻胶罐内的光刻胶吸出，使所述光刻胶依次经过所述第二泵和所述过滤器，所述光刻胶经所述过滤器过滤后，通过所述输出管输入所述光刻胶盛筒中。

5.根据权利要求4所述的光刻胶涂布方法，其特征在于，所述使所述喷嘴吸取所述光刻胶盛筒内的光刻胶，包括：所述第一泵控制所述喷嘴吸入光刻胶的量为1～10cc。