[发明专利]一种防止光刻胶溢流的接口盘

权利要求书

1.一种防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：包括表面光滑平整的基板(1)，沿基板外圈(4)的内侧加工有一圈溢胶槽(2)，所述的溢胶槽(2)通过溢胶槽外圈(2-1)和溢胶槽内圈(2-2)分隔形成，溢胶槽(2)上设有一处晶圆拿取缺口(5)，晶圆拿取缺口(5)处的溢胶槽内圈(2-2)向内凹陷，通过晶圆拿取缺口(5)拿取晶圆，晶圆上流出的胶收集到溢胶槽(2)当中，溢胶槽(2)围成的区域内部加工有若干个真空孔(7)，所述的基板(1)置于光刻机卡盘上时，真空孔(7)与光刻机卡盘上的真空道(3)相通，基板(1)被吸紧。

2.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述的基板(1)为采用透明刚性材料加工出的或直接注塑成型的圆形板。

3.根据权利要求2所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述的基板(1)为采用玻璃制成的圆形板。

4.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述的溢胶槽内圈(2-2)直径小于晶圆直径0.5mm～1mm，所述溢胶槽外圈(2-1)的直径大于晶圆直径0.5mm～1mm但小于或等于光刻机卡盘直径。

5.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述的真空孔(7)包括中心孔，中心孔的外周同心布置若干圈环绕孔；

所述的中心孔与光刻机卡盘中心通孔(6)正对，环绕孔沿圆周均匀分布。

6.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：所述的溢胶槽外圈(2-1)不高于溢胶槽内圈(2-2)，溢胶槽外圈(2-1)与溢胶槽内圈(2-2)的壁面平齐。

7.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述溢胶槽外圈(2-1)与基板外圈(4)的高度相平齐。

8.根据权利要求1所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：所述溢胶槽内圈(2-2)的底部设置有截面为直角三角形状或直角梯形状的橡胶圈进行密封和胶的导流。

9.根据权利要求8所述防止光刻胶溢流的接口盘，其特征在于：

所述橡胶圈的上表面高度不超过溢胶槽内圈(2-2)的内圈表面。