[发明专利]一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法

权利要求书

1.一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤（1），取第一衬底，作为压电薄膜的制备衬底，在第一衬底的上端面沉积压电层，然后在压电层上生长一整层绝缘保护层，对绝缘保护层进行图形化刻蚀，获得第一复合衬底，待用；

步骤（2），取第二衬底，作为键合衬底，在第二衬底的上端面制备临时键合层，然后在临时键合层上键合一层柔性衬底，获得第二复合衬底；

步骤（3），将第二复合衬底与第一复合衬底进行键合，键合完成后将第一衬底剥离掉，露出压电层，在压电层上制备顶电极，并对顶电极进行图形化处理；

步骤（4），在压电层上覆盖顶电极制备柔性保护层，同时对柔性保护层进行图形化光刻，并将压电层中部上方、顶电极上方的柔性保护层刻蚀掉，使顶电极显露，形成上空腔；将第二衬底从柔性衬底上解键合实现剥离，获得柔性滤波器器件；

步骤（5），通过多个柔性滤波器器件进行级联，获得具有对不同频段进行滤波功能的滤波器。

2.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）和所述步骤（2）中，所述第一衬底和所述第二衬底均采用的材料为硅衬底、蓝宝石衬底、碳化硅衬底，氮化镓衬底、氮化铝衬底、Al_xGa_1-xN缓冲层衬底、玻璃、塑料、砷化镓、钢、纸、丝绸、塑料、聚酰亚胺、聚对二甲苯、聚碳酸酯、涤纶树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯醇或含氟聚合物中的一种或几种组合。

3.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中，所述压电层为外延生长的单晶压电薄膜或通过溅射生长的高C轴取向的多晶压电薄膜或AlN、ZnO、PZT、LiNbO₃、LiTaO3中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述顶电极为石墨烯、金、钨、钼、铂、钌、铱、锗、铜、钛、钛钨、铝、铬或砷合金中的一种或两种进行组合，所述顶电极的厚度为1-500nm。

5.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中，所述绝缘保护层采用的材料为SiO2、AlN、SiN、Si、塑料、聚酰亚胺、聚对二甲苯、聚碳酸酯、涤纶树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯醇或含氟聚合物中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）中，所述柔性保护层的材料为聚酰亚胺、聚对二甲苯、聚碳酸酯、涤纶树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯醇或含氟聚合物中的一种。

7.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述顶电极的形状为矩形状或叉指电极形状或螺旋交叠形状。

8.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：通过改变柔性滤波器器件个数以及级联方式制备任意频率可覆盖整个通信频段的滤波器。

9.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中，所述第一衬底通过外延生长或剥离方法制备所述压电层。

10.根据权利要求1所述的一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述压电层上通过电子束蒸发和lift-off工艺或磁控溅射和图形化刻蚀工艺制备所述顶电极。