[发明专利]梯型毫米波芯片键合结构在审

专利信息
申请号: 202010278089.3 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN111354704A 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 黄蔚 申请(专利权)人: 南京迅测科技有限公司;上海创远仪器技术股份有限公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L23/66
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁;郑暄
地址: 210016 江苏省南京市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 毫米波 芯片 结构
【说明书】:

发明涉及一种梯型毫米波芯片键合结构,包括结构采用若干金丝线通过合适的键合方式组成键合结构。结构采用两根或三根金丝线。结构中的金丝线采用平行的键合方式。结构中的金丝线采用八字形的键合方式,即金丝线间一端间距较近,另一端间距较远。采用了本发明的梯型毫米波芯片键合结构,使用于Rogers 5880微带线键合,具有合适键合方式和合适的键合金丝根数,解决了解决40GHz以下频率金丝键合所需的根数仿真和金丝键合线的摆布方式。

技术领域

本发明涉及微波射频技术领域和装配领域,具体是指一种梯型毫米波芯片键合结构。

背景技术

在微波多芯片电路技术中,常采用金丝键合技术来实现微带传输线、单片微波集成电路和集总式元器件之间的互连。在现有的研究中,影响金丝键合的因素有以下几种:数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等,在高频段,键合金丝的寄生电感效应尤为明显。

同常的金丝键合模型如图1所示,等效原理图如图2所示。在等效电路模型中,串联电感L和并联电容C的计算公式如下:C=εrε0(B/h0)。其中εr和ε0为自由空间的磁导率和电导率,μr、εr分别表示键合金丝的相对磁导率、相对电导率,h0为介质基板的厚度,B表示金丝焊盘的面积,当键合线的直径d和屈服深度ds的比值满足d/ds<3.394时,电阻R表示为:R=(4ρl/πd2)·cos[0.041(d/ds)2];当d/ds>3.394时,电阻R表示为:

目前,已知的键合方式有楔型和球型,为了尽量降低导线的感抗和阻抗,要求键合先孤独的长度尽量降低。

本发明采取一种梯型的键合方式,通过仿真的方式,对金丝键合的线数、方式,使用于Rogers 5880微带线键合。

发明内容

本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种满足误差小、结构简便、适用范围较为广泛的梯型毫米波芯片键合结构。

为了实现上述目的,本发明的梯型毫米波芯片键合结构如下:

该梯型毫米波芯片键合结构,其主要特点是,所述的结构采用若干金丝线通过合适的键合方式组成键合结构。

较佳地,所述的结构采用两根或三根金丝线。

较佳地,所述的结构中的金丝线采用平行的键合方式。

较佳地,所述的结构中的金丝线采用八字形的键合方式,即金丝线间一端间距较近,另一端间距较远。

采用了本发明的梯型毫米波芯片键合结构,使用于Rogers 5880微带线键合,具有合适键合方式和合适的键合金丝根数,解决了解决40GHz以下频率金丝键合所需的根数仿真和金丝键合线的摆布方式。

附图说明

图1为现有技术的金丝键合模型图。

图2为现有技术的等效原理图。

图3为现有技术的仿真结果图。

图4为本发明的梯型毫米波芯片键合结构的2根金丝键合的仿真结果图。

图5为本发明的梯型毫米波芯片键合结构的3根金丝键合的仿真结果图。

图6为本发明的梯型毫米波芯片键合结构的八字形仿真模型图。

图7为本发明的梯型毫米波芯片键合结构的八字形仿真结果图。

具体实施方式

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