[发明专利]一种具有层叠结构的多栅指数晶体管及其制备方法

权利要求书

1.一种具有层叠结构的多栅指数晶体管的制备方法，其特征在于，该多栅指数晶体管依次以漏极、沟道、源极、沟道循环层叠构成，所有的沟道宽度均大于源漏宽度，在沟道右侧未被源漏覆盖的最右侧区域，分别形成栅氧化层和栅极，并且所有的栅极通过栅极金属相连接，以此形成统一的栅极；所述沟道以二维材料制备，多沟道受到统一栅极的调控，各层晶体管的栅极通过统一的栅极金属相连，具有较小的沟道长度，以及相对较大的沟道面积；

具体步骤为：

（1）制备单栅指数晶体管，其沟道受到右侧栅极的调控；即在源漏之间有一个以二维材料所制备的沟道，其沟道长度较小，沟道宽度大于源和漏的宽度，在沟道右侧上方形成栅氧化层和栅极；源极、漏极和栅极材料为金属；

（2）制备单栅指数环栅结构晶体管，即在上述单栅指数晶体管的基础上，制备环栅结构；即在沟道右侧的三个方向：上方、下方以及右方形成栅氧化层和栅极，以提高栅控能力；

（3）制备单栅指数双沟道晶体管，采用两层堆叠结构，从上至下依次是漏极、沟道、源极、沟道和漏极，该结构共有两个沟道；其沟道长度较小，沟道宽度大于源漏宽度，在两个沟道右侧中间区域从上至下依次形成栅氧化层、栅极和栅氧化层，其两个沟道受到同一个栅极的控制；

（4）制备具有层叠结构的多栅指数晶体管，即形成多指结构，所述多指即为多个沟道，并且多沟道受到统一栅极的控制。