[发明专利]一种基板的曝光方法及加工方法在审
申请号: | 202010282240.0 | 申请日: | 2020-04-11 |
公开(公告)号: | CN111273522A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 张柯;李伟成;张雷 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 方法 加工 | ||
1.一种基板的曝光方法,其特征在于:所述基板上涂覆有油墨层,所述油墨层上覆盖有保护层,曝光光源的光线穿过所述保护层对所述油墨层进行曝光。
2.根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于:所述保护层为透明材料。
3.根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于:所述保护层采用贴敷或者压盖方式于所述油墨层上。
4.根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于:所述曝光光源包含红外波段光源和紫外波段光源。
5.根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于:所述曝光光源对所述油墨层进行曝光的同时,设置红外光源同时照射曝光区域。
6.根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于:所述保护层为惰性气体。
7.一种基板油墨层加工方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)根据权利要求1-3任一曝光方法对基板进行曝光;(4)曝光完成后去除油墨层上的保护层;(5)进行显影操作。
8.根据权利要求7的加工方法,其特征在于:所述显影操作后,通过多波段混合光源对油墨层进行曝光固化。
9.一种基板油墨层加工方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)根据权利要求7的曝光方法对基板进行曝光;(4)进行显影操作。
10.根据权利要求9所述的加工方法,其特征在于:所述显影操作后,通过多波段混合光源对油墨层进行曝光固化。
11.根据权利要求9所述的加工方法,其特征在于:所述步骤(3)中先将油墨层上的空气排出,然后充入惰性气体形成保护层覆盖于所述油墨层上。
12.根据权利要求9所述的加工方法,其特征在于:所述步骤(3)中充入比空气密度大的惰性气体,在所述油墨层上形成保护层。
13.根据权利要求9所述的加工方法,其特征在于:所述步骤(3)中采用抽真空装置,使油墨层处于真空环境。
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