[发明专利]一种油墨层的加工方法在审
申请号: | 202010282256.1 | 申请日: | 2020-04-11 |
公开(公告)号: | CN111290222A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 张柯;李伟成;张雷 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
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地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 油墨 加工 方法 | ||
本发明的一种油墨层的加工方法,包括如下步骤:(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)对所述油墨层进行图像曝光操作;(4)进行显影操作;(5)多波段混合光源对油墨层进行曝光固化。通过过在显影后进行多波段光源对基板曝光,使得油墨的固化效果更好,而在曝光步骤中也可以采用相近或同一波长光源进行曝光操作,相较于多波段光源可获得较大的光能量,曝光效率也更高。
技术领域
本发明涉及曝光领域,具体为一种油墨层的加工方法。
背景技术
曝光技术广泛应用于半导体和PCB生产领域,是制作半导体器件、芯片和PCB板等产品的工艺步骤之一,其用于在基底表面上印刷特征图形,最终获得依据电路设计所需的图形结构。传统的曝光技术需要制作掩膜的母版或者菲林底片进行曝光操作,制作周期长,且每一版对应单一图形,不能广泛应用。为解决传统曝光技术的问题,直写曝光机构应运而生,其利用数字光处理技术,通过可编程的数字反射镜装置实现编辑不同的所需的图形结构,能够快速切换图形,其不仅可以降低成本,还可以减少制程的时间,正广泛应用于曝光技术领域。
直写曝光的原理是通过曝光的方法将设计图像转移到涂覆于基底表面的感光材料上,然后通过显影、刻蚀等工艺,最终获得所需的图形结构。感光材料是曝光工艺中的关键材料之一,常用的感光材料包括光刻胶、防焊油墨,湿膜,干膜等多种材料,其通过光照后形成相对于某些溶剂的可溶物或者不可溶物,通过刻蚀去除或者保留所述光刻胶,形成所需的图形结构。在曝光工艺中,一般包括前处理、涂覆油墨层、前烘、对准曝光、显影、后烘等工序。目前对于油墨的曝光,多在进行图形曝光是采用多波段光源进行曝光,以保证油墨的对光源的敏感度,获得较佳的固化效果,但是在进行图形曝光时采用多波段的光源,受限于光线波长的差距,光源的能量低,曝光速度慢、效率低。
发明内容
本发明旨在提供本发明旨在提供一种高效率、低成本的油墨层加工方法。
其技术方案是这样的:一种油墨层的加工方法,包括如下步骤:
(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)对所述油墨层进行图像曝光操作;(4)进行显影操作;(5)多波段混合光源对油墨层进行曝光固化。
进一步的,所述步骤(3)中曝光光源为单一波长光源或者混合波长光源。
进一步的,所述步骤(3)中,所述油墨层上覆盖有保护层,曝光光源的光线穿过所述保护层对所述油墨层进行曝光。
进一步的,所述保护层为透明材料。
进一步的,所述保护层采用贴敷或者压盖方式于所述油墨层上。
进一步的,所述曝光光源包含红外波段光源和紫外波段光源。
进一步的,所述曝光光源对所述油墨层进行曝光的同时,设置红外光源同时照射曝光区域。
进一步的,所述保护层为惰性气体。
进一步的,所述步骤(3)中先将油墨层上的空气排出,然后充入惰性气体形成保护层覆盖于所述油墨层上。
进一步的,所述步骤(3)中充入比空气密度大的惰性气体,在所述油墨层上形成保护层。
进一步的,所述步骤(3)中先将油墨层上的空气排出,真空曝光。
本发明通过在显影后进行多波段光源对基板曝光,使得油墨的固化效果更好,而在曝光步骤中也可以采用相近或同一波长光源进行曝光操作,相较于多波段光源可获得较大的光能量,曝光效率也更高。而红外波段光源的使用,也将进一步的提升图形曝光时的曝光效率。
附图说明
图1为本发明油墨层加工方法的流程图。
图2为未加保护层曝光和增加保护层曝光后油墨层光泽度、能量格的数据。
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