[发明专利]一种绝对式时栅直线位移传感器

权利要求书

1.一种绝对式时栅直线位移传感器，包括动尺和定尺，所述动尺与所述定尺平行设置，且留有间隙，其特征在于：所述动尺包括动尺基体，所述动尺基体上平行设置有精极感应调制极和粗极感应调制极，所述精极感应调制极内设置有多组精极感应调制极片组，所述粗极感应调制极排列设置有多组粗极感应调制极片组，所述精极感应调制极片组包括依次设置的q+差分感应调制极片和q-差分感应调制极片，所述粗极感应调制极片组包括依次设置的Q+差分感应调制极片和Q-差分感应调制极片；所述定尺包括定尺基体，所述定尺基体上平行设置有精极激励极和粗极激励极，所述精极激励极内排列设置有多组精极激励极片组，所述粗极激励极排列设置有多组粗极激励极片组，所述精极激励极片组包括依次设置的精极激励极片a、精极激励极片b、精极激励极片c和精极激励极片d,所述粗极 激励极片组包括依次设置的粗极 激励极片A、粗极 激励极片B、粗极 激励极片C和粗极 激励极片D；每组所述精极激励极片组对应一组所述精极感应调制极片组，每组所述粗极激励极片组对应一组所述粗极感应调制极片组；每组所述精极激励极片组和粗极激励极片组均接入4路相位相差90°的方波激励信号，且所述精极激励极片组和粗极激励极片组分时激励，4路所述方波激励信号为占空比为50％的方波，且每路方波依次超前或滞后1/4；

所述动尺基体还包括依次平行设置于所述粗极感应调制极下方位置的动尺隔离极片、第一反射极片和第二反射极片；所述定尺基体还包括依次平行设置于所述粗极激励极下方位置的定尺隔离极片、第一信号接收极片和第二信号接收极片；所述q+差分感应调制极片和Q+差分感应调制极片均与所述第一反射极片电连接，所述q-差分感应调制极片和Q-差分感应调制极片均与所述第二反射极片电连接；所述第一信号接收极片用于接收所述第一反射极片反射回来的信号，所述第二信号接收极片接收所述第二反射极片反射回来的信号。

2.根据权利要求1所述的一种绝对式时栅直线位移传感器，其特征在于:所述方波激励信号的频率为20KHz 。

3.根据权利要求2所述的一种绝对式时栅直线位移传感器，其特征在于:所述精极感应调制极片组和粗极感应调制极片组内的调制极片形状为正弦型或余弦型或弧形或菱形。

4.根据权利要求3所述的一种绝对式时栅直线位移传感器，其特征在于:所有处理电路和接线都设置在所述定尺基体上，所述动尺与定尺之间无任何电气连接。

5.根据权利要求4所述的一种绝对式时栅直线位移传感器，其特征在于:所述动尺基体和定尺基体均采用PCB板。