[发明专利]长晶设备降噪的隔音装置在审
申请号: | 202010284659.X | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN111415647A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
主分类号: | G10K11/168 | 分类号: | G10K11/168;C30B35/00;B32B3/08;B32B5/02;B32B7/12;B32B3/06;B32B5/26;B32B1/06;B32B33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150028 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 设备 隔音 装置 | ||
1.一种长晶设备降噪的隔音装置,其特征是:隔声软帘由若干个隔声单元采用隔音棉错缝粘接而成,根据单个隔音单元(5)侧边形状使用树脂密封胶粘接隔音单元侧边,使其紧密无缝隙连接,根据设备尺寸大小,软帘内层缝隙填入隔音棉(6)填充,并粘接在隔音单元周围,隔声软帘由隔音层(7)与防火吸声层和保护层构成的夹层结构,隔声软帘由外层包裹中层及内层,外层、中层,内层由隔音胶水(8)粘接,隔声软帘四边由塑胶隔音毡(2)收口固定,塑胶隔音毡(2)另一端粘接磁力条(1)。
2.根据权利要求1所述的一种长晶设备降噪的隔音装置,其特征是:隔音层(7)为结构内层,隔音层(7)由隔音单元(5)及隔音棉(6)构成,保护层为中层,保护层由整片发泡闭孔式胶板(4)构成并粘接在隔音层(7)前后两面,防火吸声层为外层,防火吸声层由防火纤维板(3)构成。
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