[发明专利]一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010287561.X | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111438356B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李群;许鹏国;李卫;杨海勇 | 申请（专利权）人： | 河北晟华新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F1/052 | 分类号： | B22F1/052;B22F3/15;B22F5/00;C23C14/34;C22C21/00;C22C14/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 054300 河北省邢台市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 钛铝靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％；铝粉原子百分比为40～70％，其余为钛粉；
(2)将步骤(1)所述混合均匀的粉末装入包套；
(3)将步骤(2)所述装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；封焊前应先将除气管砸扁，然后剪断封焊；
(4)将步骤(3)所述脱气完成的包套进行热等静压处理；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h；
(5)将步骤(4)所述热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成钛铝靶材。
2.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：钛粉和铝粉的混合选用三维混料机或V字型混料机进行混合，混合时加入一定量的直径10～20mm不锈钢球。
3.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述的包套材质选自普通碳钢、不锈钢、铝、铝合金、铜或铜合金的一种。
4.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(3)所述的包套除气温度为200～500℃，真空度小于5×10-3Pa。
5.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(4)所述的热等静压保温温度为470℃。
6.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材，采用上述权利要求1-5任一项所述的制备方法制备。
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