[发明专利]近场光学的光纤探针及制备方法

权利要求书

1.一种近场光学的光纤探针，其特征在于，所述光纤探针包括：光纤头和金属层，所述光纤头为锥状光纤头，所述锥状光纤头外部覆盖有所述金属层，所述金属层上开设有孔洞，所述通孔洞贯穿所述金属层，并延伸至所述锥状光纤头的纤芯处。

2.根据权利要求1所述的近场光学的光纤探针，其特征在于，所述金属层的厚度为10纳米-1000纳米。

3.根据权利要求1所述的近场光学的光纤探针，其特征在于，所述金属层的材料为贵金属。

4.根据权利要求3所述的近场光学的光纤探针，其特征在于，所述金属层的材料为金、银、钌、铑、钯、锇、铱和铂中至少一种。

5.根据权利要求1所述的近场光学的光纤探针，其特征在于，所述光纤探针还包括导光槽，所述金属层上所述孔洞到所述光纤头的尖端的路径上设置有所述导光槽。

6.根据权利要求1所述的近场光学的光纤探针，其特征在于，所述孔洞与所述光纤头延伸方向不垂直。

7.一种近场光学的光纤探针制备方法，其特征在于，应用于权利要求1-6任意一项所述的光纤探针，所述制备方法包括：

将光纤进行拉锥，使得该光纤熔断，形成锥状光纤头；

将预设金属镀在所述锥状光纤头外部，形成金属层；

使用飞秒激光在所述金属层上烧灼，形成延伸至所述纤芯的孔洞。

8.根据权利要求7所述的近场光学的光纤探针制备方法，其特征在于，所述将预设金属镀在所述锥状光纤头外部，形成金属层的步骤包括：

使用电子束蒸发镀膜和磁控溅射中任意一种镀膜方法将预设金属镀在所述锥状光纤头外部，形成金属层。

9.根据权利要求7所述的近场光学的光纤探针制备方法，其特征在于，所述使用飞秒激光在所述金属层上烧灼，形成延伸至所述纤芯的孔洞的步骤包括：

将飞秒激光器调节至与所述锥状光纤头的夹角小于90度；

使用所述飞秒激光器对金属层进行灼烧，使得所述金属层上形成贯穿所述金属的孔洞；

使用所述飞秒激光器对光纤头进行灼烧，使得所述孔洞延伸至所述光纤头的纤芯处。

10.根据权利要求9所述的近场光学的光纤探针制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：

在金属层上的所述孔洞到所述光纤头尖端的路径上开设导光槽。