[发明专利]发光元件的制造装置和制造方法

说明书

本发明提供对于设置场所的形状、宽敞度的自由度高且对于步骤变更、扩展等的应对性优异的有机EL装置的制造装置。本发明的制造装置的特征在于，包括：主输送路径，其具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机；副输送路径，其具有与第1移载机或第2移载机连接的第2交接室和与第2交接室连接的输送室，且在与主输送路径交叉的方向上延伸；和与输送室连接的多个第1处理室，主输送路径将被处理基板以水平的状态输送，多个第1处理室中的一个第1处理室在处理中将被处理基板保持在垂直的状态。

技术领域

本发明涉及发光元件的制造装置和发光元件的制造方法。特别涉及用于形成显示装置的有机EL元件中的有机层和电极层的制造装置及其制造方法。

背景技术

近年来，在显示部中使用有机电致发光元件(有机EL元件)的显示装置被广泛地使用于以智能手机等便携式信息终端为首的各种电子器件中。有机EL元件具有在一对电极之间层叠夹持有具有各功能的有机层的结构，其制造通过在形成有一个电极的基板上利用蒸镀法或涂敷法等依次形成有机层、利用溅射法或涂敷法等形成另一个电极而进行。

作为具有代表性的有机EL元件的有机层的结构，可以列举空穴注入层/空穴输运层/发光层/电子输运层/电子注入层这样的层叠结构，提案有一种用于依次恰当地形成包括这些层在内的构成有机EL元件的叠层的制造装置(例如，参照日本特开2004-288463号公报)。

发明内容

有机EL元件由被夹持于一对电极间的有机层的叠层构成，其结构根据所要求的特性而大不相同。因此，随着具有与现有的有机EL元件不同的材料和层叠结构的元件的提案，需要与之相应的制造装置的构筑。例如在日本特开2004-288463号公报中记载的制造装置中，连接有多个处理室的输送室通过交接室直列连接(串行连接)，不过在采用这样的结构的情况下，在中途改变层叠结构或者追加新的层时，需要进行将已经配置的装置组的一部分分解进行再配置或者追加连接新的输送室那样的大规模的改装。此外，由于各处理各自的处理时间不同，所以产生在某一个步骤中处理能力高而在另一个步骤中处理能力低那样的差，在输送室直列连接(串行连接)的情况下，存在处理能力低的处理装置进行的步骤成为瓶颈，限制整体生产量的问题。

本发明的一个方式的层叠膜的制造装置，其特征在于，包括：主输送路径，其具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机；副输送路径，其具有与第1移载机或第2移载机连接的第2交接室和与第2交接室连接的输送室，且在与主输送路径交叉的方向上延伸；和与输送室连接的多个第1处理室，主输送路径将被处理基板以水平的状态输送，多个第1处理室中的一个第1处理室在处理中将上述被处理基板保持在垂直的状态。

本发明的另一个方式的层叠膜的制造装置，其特征在于，包括：主输送路径，其具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机；第1副输送路径，其具有与上述第1移载机连接的第2交接室和与第2交接室连接的第1输送室，且在与主输送路径交叉的方向上延伸；第2副输送路径，其具有与第2移载机连接的第3交接室和与第3交接室连接的第2输送室，且在与主输送路径交叉的方向上延伸；与第1输送室连接的多个第1处理室；和与第2输送室连接的多个第2处理室，上述主输送路径将被处理基板以水平的状态输送，上述多个第1处理室中的一个第1处理室在处理中将被处理基板保持在垂直的状态，多个第2处理室中的一个第2处理室在处理中将被处理基板保持在水平的状态。