[发明专利]一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺

权利要求书

1.一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

所述工艺包括以下步骤：

1）进舟、充氮和预升温：将制绒后的硅片送入反应设备内并充入大氮进行预热升温；

2）低浓度预氧化：通入大氮和氧气，在硅片预氧化表面形成氧化硅缓存介质层；

3）低浓度氧气快速沉积：小幅度升温后在保温条件下向反应设备内充入大氮、小氮和氧气，进行快速沉积；低浓度氧化快速沉积持续进行100～200s；

4）升温低浓度氧气快速沉积：进一步小幅度升温后进行快速沉积；所述进一步小幅度升温5～15℃后，保持大氮、小氮和氧气流量，快速沉积100～200s；

5）高温快速推进：升温后保温并向反应设备内快速通入大氮；

6）控温降温：控制反应设备进行缓慢降温，控制反应设备内各处温差＜30℃，至整体温度降温至830℃以下；

7）降温高浓度氧化：进行适当降温后通大氮和氧气，进行降温氧化；降温至750～830℃保温100～300s，此过程中控制大氮流量为500～1000sccm、氧气流量为800～1800sccm；

8）高浓度氧气快速沉积：通入低流量大氮和/或小氮，提高氧气流量，进行快速氧气沉积；

9）快速氧化：提高大氮流量，并保温进行快速氧化；提高大氮流量至1000～2500sccm，控制氧气流量为500～1500sccm，并在750～780℃条件下保温100～200s；

10）回压氧化：大幅度提高大氮流量，并保温氧化；提高大氮流量至10000～15000sccm，控制氧气流量为500～1500sccm，于750～780℃条件下保温150～280s；

11）出舟：控制大氮流量适当下降后将硅片快速取出即完成扩散。

2.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤1）所述进舟过程为：

将制绒后的硅片快速送入反应设备内并抽真空≤120mbar；

步骤1）所述充氮过程为：

向反应设备内通入大氮，控制大氮流量为700～1000sccm；

步骤1）所述预热升温过程为：

升温至550～700℃，升温时长控制在150～350s。

3.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤2）中：

大氮流量为1000～2000sccm，氧气流量为500～1000sccm，预氧化持续时间为300～550s；

步骤2）通入大氮和氧气前控制反应温度升至≥650℃。

4.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤3）小幅度升温后控制反应温度为780～800℃，控制大氮流量为500～1000sccm、小氮流量为500～1000sccm，源瓶压力为600～800mbar，氧气流量为200～500sccm。

5.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤5）升温至830～870℃后通大氮进行800～1000s的快速推进扩散；

所述大氮的流量控制为1000～3000sccm。

6.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤6）降温至830～860℃后控制大氮流量保持为1000～3000sccm，持续600～1100s。

7.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤8）控制大氮流量为0～1000sccm、小氮流量为500～1000sccm，控制源瓶压力为600～800mbar，控制氧气流量为500～1500sccm，并在750～820℃条件下保温400～800s。

8.根据权利要求1所述的一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺，其特征在于，

步骤11）控制大氮流量为700～1000sccm，持续通大氮450～550s后快速取出硅片完成出舟。