[发明专利]匹配箱的阻抗调节方法、系统、装置及射频电源系统

权利要求书

1.一种匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，包括：

获取匹配箱中的相位电容的容值C_s和幅值电容的容值C_p；

根据预设补偿步长增益关系式得到相位电容的第一补偿步长增益G_set(C_s)和幅值电容的第二补偿步长增益G_set(C_p)，其中，所述补偿步长增益关系式为：

其中，gain(C_s)为所述相位电容的默认最大移动步长，C_smax和C_smin分别为所述相位电容的最大值和最小值，gain(C_p)为所述幅值电容的默认最大移动步长，C_pmax和C_pmin分别为相位电容的最大值和最小值；

将所述第一补偿步长增益G_set(C_s)与第一调节因子C_{s_error}的乘积作为相位电容的第一调节步长C_{s_step}(C_s)，将所述第二补偿步长增益G_set(C_p)与第二调节因子C_{p_error}的乘积作为幅值电容的第二调节步长C_{p_step}(C_p)；其中，C_{s_error}基于所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的相位误差得到，C_{p_error}基于所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的幅值误差得到；

利用所述第一调节步长对所述相位电容的极板之间的距离进行调节，利用所述第二调节步长对幅值电容的极板之间的位置进行调节。

2.如权利要求1所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述第一调节因子还基于所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的幅值误差得到；

所述第一调节因子具体为C_{s_error}＝a·ΔPhase+b·ΔMag；

a为相位对C_s的影响因子，b为幅值对C_s的影响因子，ΔMag为所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的幅值误差的归一化后的数值，ΔPhase为所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的相位误差的归一化后的数值。

3.如权利要求2所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述第二调节因子还基于所述匹配箱的阻抗与目标阻抗之间的相位误差得到；

所述第二调节因子具体为C_{p_error}＝c·ΔPhase+d·ΔMag，c为相位对C_p的影响因子，d为幅值对C_p的影响因子。

4.如权利要求1所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述目标阻抗为50Ω。