[发明专利]一种用于窄长器件精密对准的键合标记结构

权利要求书

1.一种用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：包括位于无源芯片上的键合标记层和位于有源激光器上的键合标记层；

所述无源芯片上的键合标记层包括一个横向下游标标记、两个纵向下游标标记、一个凹型十字标记和两个游标基准标记，所述横向下游标标记位于所述凹型十字标记的上侧或下侧，所述两个纵向下游标标记分别位于所述凹型十字标记的两侧，所述横向下游标标记的方向与纵向下游标标记的方向垂直，所述横向下游标标记的长度大于所述纵向下游标标记的长度，所述两个游标基准标记为十字标记，其中一个游标基准标记位于一个纵向下游标标记的上端，另一个游标基准标记位于另一个纵向下游标标记的下端；

所述有源激光器上的键合标记层包括两个横向上游标标记、两个纵向上游标标记和一个凸型十字标记，所述两个横向上游标标记同时位于所述凸型十字标记的上侧或下侧，所述两个纵向上游标标记分别位于所述凸型十字标记的两侧，所述横向上游标标记的方向与纵向上游标标记的方向垂直，所述凸型十字标记的凸起部分的尺寸略小于前述凹型十字标记的凹陷部分的尺寸；

当两个键合标记层完全对准时，横向下游标标记的一端与一个横向上游标标记的一端对齐，横向下游标标记的另一端与另一个横向上游标标记的一端对齐，一个纵向下游标标记的下端与一个纵向上游标标记的下端对齐，另一个纵向下游标标记的上端与另一个纵向上游标标记的上端对齐，两个游标基准标记分别位于纵向下游标标记与纵向上游标标记的对齐端，凸型十字标记的凸起部分嵌套于凹型十字标记凹陷部分的正中位置。

2.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：所述横向下游标标记和横向上游标标记均由若干个横向排列的游标刻度组成，所述纵向下游标标记和纵向上游标标记均由若干个纵向排列的游标刻度组成。

3.根据权利要求2所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：所述游标刻度的形状为矩形。

4.根据权利要求2所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：所述横向下游标标记的游标刻度与横向上游标标记的游标刻度的尺寸相同，所述纵向下游标标记的游标刻度与纵向上游标标记的游标刻度的尺寸相同。

5.根据权利要求2所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：无源芯片上键合标记层的相邻游标刻度间距大于有源激光器上键合标记层的相邻游标刻度间距。

6.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：所述凹型十字标记和凸型十字标记分别位于两个键合标记层的中央。

7.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：所述凸型十字标记为凸出的十字结构，所述凹型十字标记为中间凹陷一个十字的正方形结构。

8.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：当两个键合标记层完全对准时，所述横向下游标标记与横向上游标标记之间存在间距，所述纵向下游标标记与纵向上游标标记之间存在间距。

9.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：当两个键合标记层完全对准时，所述横向上游标标记位于横向下游标标记的内侧，所述纵向上游标标记位于纵向下游标标记的内侧。

10.根据权利要求1所述用于窄长器件精密对准的键合标记结构，其特征在于：两个游标基准标记分别位于两个键合标记层完全对准时纵向下游标标记与纵向上游标标记的对齐端。