[发明专利]水溶液的气体浓度提升装置

说明书

本发明提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括一浓度提升槽、一气体输入端、一循环管线、一冷却装置及一洒水装置，其中浓度提升槽内具有水溶液，并经由气体输入端将气体输送至浓度提升槽。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并以冷却装置降低循环管线输送的水溶液的温度。洒水装置将经过冷却的水溶液以水滴或水柱的状态喷洒在浓度提升槽内，其中水滴或水柱会接触浓度提升槽内的气体，使得气体溶解在水溶液，并落在气体浓度提升槽的底部，通过循环管线及冷却装置多次循环及冷却水溶液，可有效提升水溶液中的气体浓度。

技术领域

本发明有关于一种水溶液的气体浓度提升装置，可有效高气体溶解在水溶液的效率，并提升水溶液中的气体浓度。

背景技术

在半导体、发光二极体或液晶等电子工业制品的制程中，经常会使用湿式化学清洗制程来去除基板表面上的微粒子。具体而言可利用一定浓度的气体水溶液或药剂活化硅晶圆及微粒子表面，进而达到洗净目的。

一般而言通常会依据气体对水的溶解度，选择适合的装置将气体溶于水中，以形成需要的气体水溶液。具体而言，排水集气法适用于难溶于水的气体，向上排气法适用于易溶于水，且比空气重的气体，而向下排气法则适用于易溶水，比空气轻的气体，然而依据气体的特性分别使用不同的装置及方法，使得气体可顺利溶于水中，有可能会增加采购不同设备需要的成本，亦无法有效提高气体的溶解效率。

发明内容

为了解决上述习用构造的问题，本发明提出一种新颖的水溶液的气体浓度提升装置，在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。

本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要包括一浓度提升槽、一循环管线及一洒水装置，其中循环管线连接浓度提升槽，而洒水装置则位于浓度提升槽内。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并通过洒水装置将水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，使得水滴或水柱与浓度提升槽内的气体接触，以提高水溶液中的气体浓度。

本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要于循环管线上设置一冷却装置，其中冷却装置通过热传导的方式降低循环管线内的水溶液的温度。而后通过洒水装置将低温的水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，以利于气体溶解在水溶液中，并提高水溶液的气体浓度。

本发明的一目的，在于提出一种水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置连接一转动机构，转动机构用以驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动，使得洒水装置喷洒出的水滴或水柱均匀的通过浓度提升槽的各个区域，以利于气体溶解在水溶液中。

本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括：一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；一气体输入端，连接浓度提升槽，并将气体输送至浓度提升槽的容置空间内；一循环管线，连接浓度提升槽，并用以输送浓度提升槽的容置空间内的水溶液；一帮浦，连接循环管线；一冷却装置，连接循环管线，并用以降低循环管线内的水溶液的温度；及一洒水装置，位于浓度提升槽的容置空间内，并连接循环管线，其中帮浦用以将浓度提升槽的容置空间内的水溶液经由循环管线输送至洒水装置，并经由洒水装置将水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至浓度提升槽的容置空间内，使得浓度提升槽内的气体与水溶液接触，以提高水溶液中溶解的气体的浓度。

所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一十字形或一米字形，并于十字形或米字形的洒水装置的表面设置复数个穿孔。

所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一柱状，并于柱状的洒水装置的表面设置复数个狭缝，使得水溶液经由狭缝喷洒出片状的水柱。

所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一转动机构连接洒水装置，并驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动。

所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一隔热层包覆浓度提升槽。