[发明专利]热电堆红外探测器及其热导通结构

权利要求书

1.热导通结构，安装于基底(1)上，其特征在于：包括：

设于所述基底(1)上的热电堆(2)，所述热电堆(2)具有探测冷端(22)和探测热端(21)，所述热电堆(2)的探测冷端(22)与所述基底(1)贴合，所述热电堆(2)的探测热端(21)开设有导热槽(25)，所述导热槽(25)内填充有红外吸收材料(4)；

所述热电堆(2)包括依次叠设于所述基底(1)上的第一热偶条(23)和设于所述第一热偶条(23)上的第二热偶条(24)，所述导热槽(25)开设于所述第二热偶条(24)上；

所述导热槽(25)贯穿所述第二热偶条(24)并延伸至所述第一热偶条(23)中；

所述第二热偶条(24)的两端朝向所述第一热偶条(23)的一侧凸设有延伸部(241)，所述导热槽(25)开设于位于所述延伸部(241)上，且所述第二热偶条(24)的中间部分和所述第一热偶条(23)之间填充有绝热层(26)。

2.如权利要求1所述的热导通结构，其特征在于：所述红外吸收材料(4)采用氮化硅。

3.如权利要求1所述的热导通结构，其特征在于：所述基底(1)和所述热电堆(2)之间还设有支撑膜组件(3)。

4.如权利要求3所述的热导通结构，其特征在于：所述支撑膜组件(3)包括依次叠设的第一氧化硅层(31)、氮化硅层(32)和第二氧化硅层(33)。

5.热电堆红外探测器，其特征在于：包括基底(1)和如权利要求1至4任一项所述的热导通结构，所述基底(1)上间隔设有若干所述热电堆(2)。

6.如权利要求5所述的热电堆红外探测器，其特征在于：所述基底(1)的中部形成有吸收区(5)，所述红外吸收材料(4)可连接至所述吸收区(5)。

7.如权利要求6所述的热电堆红外探测器，其特征在于：所述基底(1)上通过十字型分割通道划分为四个区域，且每个区域内横向或竖向布设多个相互平行的热电堆(2)，且所述十字型分割通道的中心区为所述吸收区(5)。