[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种真空泵，能确保从滚动轴承散热的性能、且能降低支撑刚性。涡轮分子泵包括底座；转子；轴，耦接所述转子；支撑转子的滚动轴承，且其具有设置在所述轴的内轮与支撑于所述底座上的外轮；弹性保持滚动轴承的外轮的底座；及冷却用的油脂，填充于底座、外轮与底座之间的空间且稠度的NLGI编号为1.5以下的油脂，提升从所述外轮向所述底座的热传递。与使用稠度的美国润滑脂学会编号为1.5还大的冷却用的油脂的情况相比，通过使用稠度的美国润滑脂学会编号为1.5以下的冷却用的油脂，当所述滚动轴承在径向移动时冷却用的油脂的移动顺利地进行，且抑制径向支撑刚性的增大，向所述底座传递的振动变小。

本申请为申请日为2015年07月30日，申请号为201510461378.6，发明名称为“真空泵”的专利的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种利用滚动轴承来支撑转子的真空泵。

背景技术

之前，已知有利用经油脂润滑的滚动轴承来支撑转子的旋转轴的真空泵。此种真空泵存在如下问题：因由转子的不平衡所致的振动旋转而产生振动，且该振动会被传递至泵外部。作为该问题的对策，有弹性支撑滚动轴承而使振动衰减的方法。

例如，在专利文献1中记载的涡轮分子泵中，在利用外侧套管对保持滚动轴承的外轮的内侧套管进行保持、且将该外侧套管固定于底座的构成中，在外轮的外周与内侧套管之间、及内侧套管与外侧套管之间设有弹性体(O环)。并且，为了提升内侧套管与外侧套管之间的散热性能，设有由导热凝胶形成的凝胶层。凝胶层被弹性体密封。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开第2006/131694号说明书

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，当弹性支撑滚动轴承时，为了充分减弱传递至泵外的振动，须充分减小弹性系数。因此，在如专利文献1中记载的构成般、在内侧套管与外侧套管的径向间隙内设置凝胶层的构成中，存在因凝胶层的影响而导致无法充分降低径向的支撑刚性的问题。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选的实施方式中的真空泵包括：底座；转子；轴，耦接所述转子；支撑转子的滚动轴承，且其具有设置在所述轴的内轮与支撑于所述底座上的外轮；弹性保持所述滚动轴承的外轮的保持部；及冷却用的油脂，填充于所述外轮与所述保持部之间的空间、且稠度的美国润滑脂学会(National Lubricating Grease Institute，NLGI)编号为1.5以下的油脂，提升从所述外轮向所述底座的热传递。与使用稠度的美国润滑脂学会编号为1.5还大的冷却用的油脂的情况相比，通过使用稠度的美国润滑脂学会编号为1.5以下的冷却用的油脂，当所述滚动轴承在径向移动时冷却用的油脂的移动顺利地进行，且抑制径向支撑刚性的增大，向所述底座传递的振动变小。

在更优选的实施方式中，所述保持部包括弹性支撑所述外轮的至少两个弹性构件，所述油脂填充于由所述两个弹性构件、所述外轮及所述保持部包围的区域、且维持在泵使用温度下不会流出至所述区域的外部的油脂状态。

在更优选的实施方式中，更包括导热率高于所述外轮的散热构件，该散热构件包括与所述外轮接触的接触部、及从该接触部延设而设于填充有所述油脂的区域的散热部。

在更优选的实施方式中，所述油脂在泵使用温度下的油离度为10％以下。

在更优选的实施方式中，所述油脂是温度20℃下的饱和蒸气压为10^-8Pa以下的氟油脂。

[发明的效果]

根据本发明，可确保从滚动轴承散热的性能、且可降低支撑刚性。

附图说明