[发明专利]取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜及其制备方法、半导体器件在审
| 申请号： | 202010296666.1 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111470490A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 姚亚刚;祝泽周;张凯;李立强 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B32/168 | 分类号： | C01B32/168;C01B32/198;C09K5/14;H01L23/373;C01B32/16 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 取向 纳米 石墨 复合 导热 及其 制备 方法 半导体器件 | ||
1.一种取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜，其特征在于，包括碳纳米管层以及复合于碳纳米管层表面的石墨烯层，
所述碳纳米管层为取向薄膜。
2.根据权利要求1所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜，其特征在于，碳纳米管层由碳纳米管丝交织成网状。
3.根据权利要求1所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜，其特征在于，所述碳纳米管层的两个表面均复合有石墨烯层。
4.一种半导体器件，采用权利要求1-3任一所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜作为导热界面材料。
5.一种取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，包括：
s1、将可纺丝的碳纳米管阵列牵拉成取向薄膜；
s2、将氧化石墨烯溶液复合到取向薄膜的表面；
s3、热处理，获得复合导热膜。
6.根据权利要求5所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，步骤s1中，采用化学气相沉积法制作所述的可纺丝的碳纳米管阵列。
7.根据权利要求6所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，化学气相沉积过程中，生长温度为700-840℃，保温时间为10-60分钟。
8.根据权利要求5所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，步骤s2中，所述氧化石墨烯溶液以真空抽滤、喷涂、丝网印刷、喷墨打印、辊涂或刮涂方式复合到取向薄膜的表面。
9.根据权利要求5所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，步骤s2中，氧化石墨烯溶液的浓度为1-10mg/mL。
10.根据权利要求5所述的取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜的制备方法，其特征在于，步骤s3中，热处理的过程包括：
800-1100℃预处理1-2小时；
升温至1500-2850℃进行高温处理0.5-2小时。
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