[发明专利]一种超纯气体的气瓶处理系统及其处理方法在审
申请号: | 202010297832.X | 申请日: | 2020-04-16 |
公开(公告)号: | CN111469042A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 杨利;王占峰;叶红炳 | 申请(专利权)人: | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B31/00 | 分类号: | B24B31/00;B24C1/08;C09G1/02;C23G1/19 |
代理公司: | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人: | 王美芳 |
地址: | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 处理 系统 及其 方法 | ||
本发明公开了一种超纯气体的气瓶处理系统及其处理方法,旨在提供一种处理效果好,表面光洁度高,实用性强的气瓶处理方法,其技术方案要点是将气瓶进行初步清洗和干燥处理→气瓶内壁除锈→内壁研磨→再清洗处理→除离子化处理→内部干燥→气密性检测→真空置换处理,对气瓶进行反复处理,并且保证了对气瓶的充分清洁,以及确保了对超纯气体的储存,并且本发明通过碱性脱脂剂对气瓶内壁进行除锈,提高了良好的除锈效果,同时还增加了气密性检测,则保证了对气瓶气密性的保证,进一步的保证了实用效果,本发明适用于超纯气体的气瓶处理技术领域。
技术领域
本发明涉及一种超纯气体的气瓶处理技术领域,更具体地说,它涉及一种超纯气体的气瓶处理系统及其处理方法。
背景技术
目前,市场上的超纯气体的气瓶处理方法,在对气瓶进行除锈处理时,是通过抛丸的方式进行处理,再进行打磨,然后在进行清洗,但是这样的方式容易造成对气瓶内壁的磨损,影响气瓶整体的使用效果,降低实用性。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种处理效果好,表面光洁度高,实用性强的气瓶处理方法。
为实现上述目的,本发明提供了如下技术方案:一种超纯气体的气瓶处理方法,包括如下步骤:(1)气瓶的初步清洗和干燥处理:将钢制无缝气瓶使用高压自来水进行冲洗处理,主要是去除气瓶内部的锈蚀物,然后利用热蒸汽吹扫对气瓶内壁进行干燥处理,并去除内壁附着的油污;
(2)气瓶内壁除锈:对气瓶内壁采用抛丸方式除去金属表面的氧化皮、焊疤;并采用碱性脱脂剂,在50-60℃的条件下,对气瓶内壁进行处理1-3分钟,除去金属表面的矿物油,然后常温水洗;
(3)内壁研磨:利用高密度材料,将其装入气瓶内,并添加研磨液进行研磨,对气瓶内壁进行研磨,从而达到高光洁度的目的;
(4)再清洗处理:利用高压水清洗,去除步骤(3)产生的污物;
(5)除离子化处理:使用高纯度去离子化水对气瓶内部进行清洗,从而达到降低气瓶内部离子浓度高的问题;
(6)内部干燥:使用热蒸汽吹扫进行初步干燥,再使用加热恒温装置对气瓶进行内部进行烘干处理,从而达到去除气瓶内部痕量水分的目的;
(7)气密性检测:a、采用厚度为0.0015英寸的塞尺对气瓶端口与端塞之间的距离进行检测,以初步确定气瓶与端塞之间的密封性,从而进行初步漏率测试;若检测不合格则重新进行安装,同支气瓶经两次检验不合格后进行报废处理;
b、向气瓶内部充入高纯氮气与高纯氦气的混合气;随后选用氦检漏仪采用吸枪法对气瓶端口与端塞连接处、端塞与阀门连接处的漏率进行检测;
c、向气瓶内部冲入气瓶工作压力的高纯氮气进行气瓶气密性检测;对气瓶系统进行密封性检测合格后,方可进行下一道工序,如检测不合格,则需重新处理,直至检验合格后转入下一道工序;
(8)真空置换处理:干燥结束的气瓶使用分子泵真空机组对其进行抽真空处理,抽除气瓶内部的气密性检验用气体残留,并使用相应将要充装的超高纯度介质气体进行置换处理,从而达到除去气瓶内部其他气态杂质的目的。
通过采用上述技术方案,将气瓶进行初步清洗和干燥处理→气瓶内壁除锈→内壁研磨→再清洗处理→除离子化处理→内部干燥→气密性检测→真空置换处理,对气瓶进行反复处理,并且保证了对气瓶的充分清洁,以及确保了对超纯气体的储存,并且本发明通过碱性脱脂剂对气瓶内壁进行除锈,提高了良好的除锈效果,同时还增加了气密性检测,则保证了对气瓶气密性的保证,进一步的保证了实用效果。
本发明进一步设置为:所述碱性脱脂剂包括:碱性物质、表面活性剂、添加剂,其比例关系为:在每100份中,碱性物质为70-80份,表面活性剂为15-30份,添加剂为4-6份,其配槽浓度为0.5-8%,配槽浓度为固体脱脂剂加水稀释后的工作浓度。
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