[发明专利]一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法

权利要求书

1.一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法，其特征在于，具体如下：

S1：称取高分子粉末和二硫化钼，用高速搅拌机使其混合均匀，在30MPa的压力下压制成型，转移至碳管炉中升温到400℃下烧结2h后再自然冷却至室温，用研磨机研磨过200目筛网得到改性高分子粉末；

S2：将纳米二氧化硅添加到改性高分子粉末中，用高速搅拌机使其混合均匀后加入到无水乙醇中，超声震荡分散25min后抽滤，于烘箱中100℃干燥10h，得到复合粉体；

S3：将掩膜版置于无水乙醇中超声震荡清洗25min后烘干，用超音速火焰喷涂设备将复合粉体对掩膜版表面进行喷涂，在掩膜版表面沉积一层耐腐绝缘层，超音速火焰喷涂采用压缩空气-丙烷火焰，超音速火焰喷涂后的掩膜版于70℃下热烘2h，再自然冷却至室温即可；

其中，所述高分子粉末为聚四氟乙烯；

所述高分子粉末与二硫化钼的质量比为85：1；

碳管炉升温的速度为20℃/min；

纳米二氧化硅与改性高分子粉末的质量比为1： 60；

所述掩膜版由Invar 36合金制造而成；

耐腐绝缘层厚度为4μm；

超音速火焰喷涂的工艺参数为：压缩空气总压力1.2MPa，丙烷压力0.2MPa；喷涂送料速度80g/min，喷涂距离160mm，喷涂角度为60°。