[发明专利]一种陶瓷加热器及其制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，其特征是，包括基体及发热元件,所述发热元件嵌入在所述基体中,

其中,

所述基体以氮化硅为主要成分,所述发热元件以碳化钨为主要成分。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其特征是，所述发热元件包括直接在一起的发热体、引线部或通过连接部连接在一起的发热体、引线部。

3.根据权利要求2所述的陶瓷加热器，其特征是，所述发热元件以重量计,包括碳化钨60-80份，氮化硅16-35份，

所述基体以重量计,包括氮化硅80-91份，碳化钨2-6份。

4.根据权利要求3所述的陶瓷加热器，其特征是，发热体以重量计,包括碳化钨60-68份，氮化硅25-35份，

连接部以重量计,包括碳化钨66-76份，氮化硅20-30份，

引线部以重量计,包括碳化钨70-80份，氮化硅16-27份。

5.根据权利要求3所述的陶瓷加热器，其特征是，所述发热元件以重量计,还包括金属氧化物2-4份，

所述基体以重量计,还包括金属氧化物6-14份，

其中，所述金属氧化物均包括稀土氧化物、碱金属氧化物、碱土金属氧化物的多种。

6.根据权利要求5所述的陶瓷加热器，其特征是，所述基体以重量计,包括稀土氧化物3-7份、碱金属氧化物或碱土金属氧化物3-7份，

所述发热元件以重量计,包括稀土氧化物1-2份、碱金属氧化物或碱土金属氧化物1-2份。

7.根据权利要求6所述的陶瓷加热器，其特征是，所述稀土氧化物包括氧化钇、氧化铈、氧化镧的至少一种，所述碱土金属氧化物包括氧化镁，碱金属氧化物包括氧化锂。

8.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其特征是，所述发热元件的抗弯强度大于800MPa，基体的热导率大于30W/(m·K)。

9.一种根据权利要求1-8任一所述的陶瓷加热器的制备方法，其特征是，包括以下步骤：

将发热元件粉料混合，制备发热元件的泥坯；

将所述发热元件的泥坯置于盛有部分基体粉料的干压模具中，加入剩余基体粉料，在10-40吨的压力下进行一次压制，然后再经过冷等静压进行二次压制，得加热器素坯；

将所述加热器素坯在气氛压力下烧结即得。

10.根据权利要求9所述的陶瓷加热器的制备方法，其特征是，烧结温度为1700℃-1800℃，烧结时压力要求为2-10MPa。