[发明专利]气相反应器系统和其使用方法

权利要求书

1.一种反应器系统，包含：

反应室；

固体前体源容器，其含有固体源化学品，流体联接到所述反应室；

气体分配系统，其流体联接到所述固体前体源容器，所述气体分配系统包含联接到多个第一气体出口的第一气体管线；

法兰总成，其包含多个出口孔口，所述多个出口孔口中的每个出口孔口联接到所述多个第一气体出口中的第一气体出口；以及

加热管线，位于所述固体前体源容器与所述反应室之间。

2.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述法兰总成包含至少一个加热器。

3.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述法兰总成包含至少一个冷却通道。

4.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述法兰总成包含第一表面，所述第一表面包含凹部以接收密封构件。

5.根据权利要求4所述的反应器系统，其中所述密封构件由选自由全氟弹性体和含氟聚合物组成的组的材料形成。

6.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述反应室包含外延反应室。

7.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述固体前体源容器包含：

外壳基部；

外壳盖；

第一入口阀，其被安装在所述外壳盖上并且与第一蛇形路径流体连通；

第一出口阀，其被安装在所述外壳盖上并且与所述第一蛇形路径流体连通；

第二入口阀，其被安装在所述外壳盖上并且与第二蛇形路径流体连通；

第二出口阀，其被安装在所述外壳盖上并且与所述第二蛇形路径流体连通；以及

排气阀，其被安装并且与所述第一蛇形路径和所述第二蛇形路径中的至少一个流体连通。

8.根据权利要求1所述的反应器系统，进一步包含监测器，所述监测器位于所述固体前体源容器与所述反应室之间以监测在所述固体前体源容器与所述反应室之间流动的前体的量。

9.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述固体源化学品包含III族、IV族和V族元素中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述气体分配系统进一步包含联接到多个第二气体出口的第二气体管线。

11.根据权利要求10所述的反应器系统，其中所述第二气体管线流体联接到包含蚀刻剂的第二气体源。

12.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述气体分配系统进一步包含多个第一气体电动机，以控制气体从所述固体前体源容器到所述反应室的流动。

13.根据权利要求12所述的反应器系统，进一步包含多个第二气体电动机，以控制从所述第二气体源到所述反应室的气体。

14.一种向衬底的表面提供气相反应物的方法，所述方法包含以下步骤：

提供气相反应器系统，所述气相反应器系统包含：

反应室；

固体前体源容器，其流体联接到所述反应室；

气体分配系统，其流体联接到所述固体前体源容器，所述气体分配系统包含联接到多个第一气体出口的第一气体管线；

法兰总成，其包含多个出口孔口，所述多个出口孔口中的每个出口孔口联接到所述多个第一气体出口中的第一气体出口；以及

排气源；在所述反应室中提供衬底；以及

将所述衬底暴露于来自所述固体前体源容器的第一气体和来自第二气体源的第二气体。

15.根据权利要求14所述的方法，进一步包含加热所述法兰总成的步骤。

16.根据权利要求14所述的方法，进一步包含加热所述气体分配系统的步骤。