[发明专利]旋转无尘室容器的方法和夹持器总成

权利要求书

1.一种旋转无尘室容器的方法，其特征在于，包括下列步骤：

将一夹持器降低到一无尘室容器，其中该夹持器连接至少一缆线；

该夹持器夹住该无尘室容器；

该至少一缆线将该无尘室容器提升到一提升单元，其中该至少一缆线亦连接于该提升单元；

将该夹持器的接合元件接合于该提升单元的互补接合元件，以便将该夹持器接合于该提升单元；以及

该夹持器使得所夹持的该无尘室容器绕于垂直轴而旋转。

2.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，该无尘室容器为下列其中任意一个：

一晶圆传送盒；

一晶圆出货盒；

一倍缩光罩容器。

3.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，在降低该夹持器的步骤之前，进一步包括下列步骤：

使得该夹持器接合于该提升单元，其中该夹持器并未夹持无尘室容器；以及

旋转该夹持器的至少一部分。

4.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，在该夹持器和该提升单元沿水平方向移动的过程中，执行被该夹持器所夹持的该无尘室容器旋转的步骤。

5.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，进一步包括下列步骤：

在降低该夹持器的步骤中，该夹持器的下夹持器元件中的开口穿过该无尘室容器的顶部凸缘；

相对于该夹持器的上夹持器元件而旋转该下夹持器元件；以及

拉升该夹持器，直到该顶部凸缘被该下夹持器元件内的凹口所容纳为止。

6.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，进一步包括下列步骤：

在降低该夹持器的步骤中，将耦接于该夹持器的上夹持器部分的定心元件插入到一晶圆传送盒的顶部凸缘中的开口内；

决定该定心元件是否相对于该夹持器移动一预定距离；以及

若该定心元件已相对于该夹持器移动该预定距离，则相对于该夹持器的上夹持器元件绕于垂直轴旋转一下夹持器元件。

7.如权利要求6所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，该下夹持器元件相对于该夹持器的上夹持器元件而旋转的步骤包括下列步骤：

该下夹持器元件相对于该夹持器的上夹持器元件旋转，直到该下夹持器元件的上部上的凹口是对准于该无尘室容器的上部凸缘为止。

8.一种经调适以夹持无尘室容器的夹持器总成，其特征在于，包括：

一夹持器，该夹持器经调适以夹持无尘室容器；

一提升单元，该提升单元包括用于提升及降低该夹持器的一第一马达；

至少一缆线，该至少一缆线将该夹持器连接于该提升单元，其中该至少一缆线是由该第一马达所驱动；

一第二马达，该第二马达用于驱动该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；

其中，该夹持器包括一接合元件，并且该提升单元包括一互补接合元件，该互补接合元件经调适用于接合于该接合元件，以便避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转。

9.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，该无尘室容器为下列其中任意一个：

一晶圆传送盒；

一晶圆出货盒；

一倍缩光罩容器。

10.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，

该夹持器包括一上夹持器元件和一下夹持器元件；

该下夹持器元件经调适用于支撑该无尘室容器的顶部凸缘；以及

该下夹持器元件包括能够穿过该无尘室容器的上凸缘的开口，以及

至少一个部分地围绕该开口而形成的凹口，用于容纳该无尘室容器的上凸缘。