[发明专利]一种可调三维集成电容器及电容调节方法

权利要求书

1.一种可调三维集成电容器，其特征在于，包括多个三维集成电容(2)、多个TSV垂直开关a(4)、多个TSV垂直开关b(3)，相邻两个所述三维集成电容(2)之间设置一个TSV垂直开关a(4)和一个TSV垂直开关b(3)，每个所述TSV垂直开关a(4)漏极连接上一个三维集成电容(2)下极板，每个所述TSV垂直开关a(4)源极连接下一个三维集成电容(2)上极板，每个所述TSV垂直开关b(3)源极连接上一个三维集成电容(2)上极板，每个所述TSV垂直开关b(3)漏极连接下一个三维集成电容(2)下极板，每个所述三维集成电容(2)上极板、TSV垂直开关a(4)源极、TSV垂直开关b(3)源极连接同一上布线层(6)，每个所述三维集成电容(2)下极板、TSV垂直开关a(4)漏极、TSV垂直开关b(3)漏极连接同一下布线层(7)；

还包括输入端(1)、输出端(5)，所述输入端(1)连接第一个三维集成电容(2)上极板，所述输出端(5)连接第一个三维集成电容(2)下极板；

所述三维集成电容(2)为N+1个，所述TSV垂直开关a(3)与TSV垂直开关b(4)均为N个，N是不小于1的整数；

所述上布线层(6)、下布线层(7)采用的是铜或铝。

2.一种可调三维集成电容器的电容调节方法，其特征在于，使用权利要求1所述一种可调三维集成电容器，具体操作方法为：将该可调三维集成电容器的输入端(1)、输出端(5)分别接到待控制电容的器件上，随后控制接入电路的多个三维电容个数，实现电容的调节；所述控制接入电路的多个三维电容个数过程为：控制每个三维电容的TSV垂直开关a(3)、TSV垂直开关b(4)，当TSV垂直开关a(3)、TSV垂直开关b(4)同时接通，则该三维电容接入电路，否则，该三维电容未接入电路。