[发明专利]一种检测蚀刻用高精度引线框架材料平整度的快速方法

权利要求书

1.一种检测蚀刻用高精度铜带平整度的快速方法，其特征在于：工艺流程为：取样-一次涂感光胶-一次烘干-一次制版-一次曝光-一次显影-边部蚀刻-去感光胶-二次涂感光胶-二次烘干-二次制版-二次曝光-二次显影-半蚀刻或全蚀刻-平整度测量-平整度评价；

第一步,取样：取长度30-300mm、宽度30-300mm的铜带；

第二步,一次涂感光胶：用小型喷枪，将感光胶均匀喷涂在铜带试样两面，将铜带表面覆盖住，无漏出铜带的地方；

第三步,一次烘干：将喷涂感光胶的铜带试样放入烘干箱加热到30-120℃烘干；

第四步,一次制版：采用CAD绘制出宽度为2-20mm的长方形图案后，用喷墨打印机打印在胶片纸上；

第五步,一次曝光：用两张制版后的胶片纸与烘干后的铜带试样对齐后叠放在一起，放入曝光机对双面进行1-10分钟曝光；

第六步,一次显影：用显影剂将制版图案在铜带试样上进行显影；

第七步,边部蚀刻：将显影后的铜带试样，放入小型蚀刻机以2-15米/分的速度进行边部蚀刻；

第八步,去感光胶：将蚀刻后的铜带试样两面感光胶采用去膜剂去除；

第九步,二次涂感光胶：用小型喷枪，将感光胶均匀喷涂在铜带试样两面，无漏铜现象；

第十步,二次烘干：将喷涂感光胶的铜带试样放入烘干箱加热到30-120℃烘干；

第十一步,二次制版：采用CAD根据使用要求设计蚀刻的图案和尺寸后，图案纵向距铜带试样的横向边部2-50mm、图案横向一端距铜带试样的纵向边部2-50mm,用喷墨打印机打印在胶片纸上；

第十二步,二次曝光：将单张制版、二次烘干后的铜带试样叠放在一起，放入曝光机对单面进行1-10分钟曝光；

第十三步,二次显影：用显影剂将制版图案在二次曝光后的铜带试样上进行显影；

第十四步,半蚀刻或全蚀刻：将二次显影后的铜带试样，放入小型蚀刻机按2-15米/分的速度进行图案半蚀刻或全蚀刻，蚀刻深度为5％—100％，对既有半蚀刻又有全蚀刻的铜带，在半蚀刻步骤完成后，将铜带取出清洗后，重复上述第二至第六步骤，再放入蚀刻机按2-10米/分的速度进行蚀刻，深度100％；

第十五步,平整度测量：将半蚀刻或全蚀刻后的铜带试样放置到标准平台上，采用塞尺或游标卡尺进行四个角翘曲高度测量；

第十六步,平整度评价：根据翘曲高度，依据技术要求，进行平整度评价。