[发明专利]激光阵列合束装置和激光设备在审
申请号: | 202010307289.7 | 申请日: | 2020-04-17 |
公开(公告)号: | CN111564760A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 唐霞辉;马豪杰;彭浩;吴洋;刘宇阳;殷凡超;张旭辉;邹锋;刘赞勇 | 申请(专利权)人: | 佛山根固激光科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢泳祥 |
地址: | 528225 广东省佛山市南海区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 阵列 束装 激光设备 | ||
1.一种激光阵列合束装置,其特征在于,包括:
至少两个平行设置的激光发射排,每个所述激光发射排均包括多个间隔排列的激光源,所有所述激光源平行设置,所述激光发射排中的多个所述激光源的排列方向称为第一方向,所有所述激光源在所述第一方向上错位设置;
合面导光组件,其位于所述激光源的激光输出侧,包括多个折射镜,多个所述折射镜与多个所述激光源位置一一对应设置,用于把多个所述激光源的输出光的光轴引导至同一个平面上。
2.根据权利要求1所述的激光阵列合束装置,其特征在于,还包括聚焦镜和衍射光栅,所述聚焦镜设于所述合面导光组件的激光输出侧,所述衍射光栅设于所述聚焦镜的激光输出侧,所述聚焦镜用于把从所述合面导光组件的输出光聚焦到所述衍射光栅上。
3.根据权利要求2所述的激光阵列合束装置,其特征在于,所述衍射光栅的激光输出侧设有输出耦合镜,所述输出耦合镜上设有用于反射部分激光的反射膜,所述激光源的发射端上设有增透膜,所述增透膜用于使所述反射膜的反射光在所述激光源的发射端的前方形成谐振腔。
4.根据权利要求2所述的激光阵列合束装置,其特征在于,还包括缩束凸透镜和缩束凹透镜,所述缩束凸透镜设于所述合面导光组件的激光输出侧,所述缩束凹透镜设于所述缩束凸透镜的激光输出侧,所述聚焦镜设于所述缩束凹透镜的激光输出侧。
5.根据权利要求1所述的激光阵列合束装置,其特征在于,每个所述激光源的激光输出侧均设有快轴准直镜和慢轴准直镜,用于先减少所述激光源的输出光在快轴方向和慢轴方向的远场发散角再输出至所述合面导光组件。
6.根据权利要求1所述的激光阵列合束装置,其特征在于,所有所述激光发射排中包括一个合面激光发射排,所述合面激光发射排设于所有所述激光发射排的最外侧,所述合面导光组件的输出光的光轴所在的面称为第一合束面,所述合面激光发射排与所述第一合束面共面,所述合面激光发射排以外的所述激光发射排均称为折射激光发射排;
所述合面导光组件包括至少一个第一折射组件,所述第一折射组件与所述折射激光发射排位置一一对应设置,所述第一折射组件包括:
第一折射镜组,设于其所对应的所述折射激光发射排的激光输出侧,所述第一折射镜组与其所对应的所述折射激光发射排中的多个所述激光源一一正对设置,所述第一折射镜组用于把所述折射激光发射排发出的激光向靠近所述合面激光发射排的方向折射;
第二折射镜组,包括多个间隔设置的第二折射镜,多个所述第二折射镜与所述第一折射镜组正对设置,所述第二折射镜与所述合面激光发射排共面设置,所述第二折射镜用于把经所述第一折射镜组折射的激光折射至所述第一合束面。
7.根据权利要求6所述的激光阵列合束装置,其特征在于,还包括第三折射镜组,所述第三折射镜组位于所述第二折射镜组的激光输出侧,所述第三折射镜组用于缩短各个从所述合面导光组件输出的激光之间的距离,所述第三折射镜组与所述第一合束面共面设置,在所述第一方向上所述第三折射镜组与所有所述激光源一一正对设置,所述第三折射镜组从靠近到远离所述合面激光发射排的方向的倾斜角度为a,a小于45度。
8.根据权利要求6所述的激光阵列合束装置,其特征在于,所述激光发射排设有两个。
9.根据权利要求1至8任一项所述的激光阵列合束装置,其特征在于,所述激光源为蓝光半导体激光发生器。
10.一种激光设备,其特征在于,包括根据权利要求1至9中任一项所述的激光阵列合束装置。
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