[发明专利]可调波长光学组件的方法和系统以及子系统

权利要求书

1.一种设备，包括：

基板；

微光机电系统(MOEMS)元件，在第一预定位置集成在所述基板上，包括：

可旋转微机电系统(MEMS)元件；

光波导，形成在所述可旋转MEMS元件上，在所述可旋转MEMS元件的作用下旋转；和

反射镜，形成在所述可旋转MEMS元件上，光耦合到所述光波导的平面；

多个波长反射式滤波器，集成在所述基板上，所述多个波长反射式滤波器中的每个波长反射式滤波器相对于所述MOEMS元件处于第二预定位置并光耦合到所述MOEMS元件；和

反射式光增益块，相对于所述MOEMS元件在第三预定位置设置在所述基板上并光耦合到所述MOEMS元件；其中，

所述MOEMS元件将光信号光耦合至且耦合自所述反射式光增益块并且耦合至且耦合自根据所述可旋转MEMS元件的旋转而选择的所述多个波长反射式滤波器中的选定波长反射式滤波器；和

所述光信号在形成在所述可旋转MEMS元件上的所述光波导内传播，并被形成在所述可旋转MEMS元件上的所述反射镜反射。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，

所述设备具有第一配置和第二配置中的至少一个；

在所述第一配置中，所述可旋转MEMS元件耦合至用于控制所述可旋转MEMS元件旋转的旋转致动器和用于将所述可旋转MEMS元件从所述光波导的平面平移开的线性致动器，从而，在重新接合顶着所述光波导的平面的所述可旋转MEMS元件之前，完成所述可旋转MEMS致动器的旋转位置的设置；和

在所述第二配置中，所述可旋转MEMS元件包括：

至少一个第一特性，设有平面波导的所述可旋转MEMS元件的表面；和

多个第二特性，设置在所述设备的平面上；其中，

所述MOEMS设备还包括用于相对于所述设备的平面平移所述可旋转MEMS的线性致动器，从而：

在第一配置中，所述可旋转MEMS朝向所述设备的平面移动，使得一旦所述可旋转MEMS元件已经旋转到与所述多个波长反射式滤波器中的选定的第一波长反射式滤波器相关联的第一预定位置，至少一个第一特性与所述多个第二特性中的预定第二特性配合；和

在第二配置中，所述可旋转MEMS从所述设备的平面移开，使得所述可旋转MEMS元件能够被旋转到与所述多个波长反射式滤波器中的选定第二波长反射式滤波器相关联的第二预定位置。

3.根据权利要求1所述的设备，进一步包括：

一个或多个光学元件，处于第一配置、第二配置、第三配置和第四配置中的至少一个；其中，

在所述第一配置中，所述一个或多个光学元件包括：

第一MEMS致动器，耦合到集成在所述基板上的光电路的第一悬挂波导部分，所述第一悬挂波导部分终止于第一端；和

第二MEMS致动器，耦合到集成在所述基板上的光电路的第二悬挂波导部分，所述第二悬挂波导部分终止于第二端；其中，

所述第一悬挂波导部分的第一端朝向所述反射式光增益块的第一平面设置；

所述第二悬挂波导部分的第二端朝向所述反射式光增益块的第二平面设置；

所述第一MEMS致动器提供所述第一悬挂波导部分的第一端相对于形成所述反射式光增益块的一部分的三维波导的位置的调节；和

所述第二MEMS致动器提供所述第二悬挂波导部分的第二端相对于形成所述反射式光增益块的一部分的三维波导的位置的调节；在所述第二配置中，所述一个或多个光学元件包括：

光耦合器，集成在所述基板上，包括：

第一端口，耦合到所述反射式光增益块的第一平面；

第二端口，耦合到所述光波导；

第三端口，耦合到所述设备的输出端口；和

光波锁定器，耦合到所述反射式光增益块的第二平面；在所述第三配置中，所述一个或多个光学元件包括：

光调制器，输入耦合到所述光耦合器的第三端口，而输出耦合到所述设备的输出端口；和

在所述第四配置中，所述一个或多个光学元件包括：

多个光探测器中的一个或多个光探测器，所述多个光探测器中的每个光探测器将所述多个波长反射式滤波器的预定子集中的每个波长反射式滤波器的远端耦合到朝向所述可旋转MEMS设置的远端。