[发明专利]显示面板及其制作方法在审
申请号: | 202010311630.6 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN111525016A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 江奇峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/62;H01L27/15;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
形成背板,所述背板包括至少一个薄膜晶体管和第一接触电极层,其中,所述第一接触电极层设置在所述薄膜晶体管上,所述第一接触电极层远离所述薄膜晶体管的一面为第一凹凸面;
将预先形成的母板与所述背板对位组合,以形成所述显示面板。
2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述将预先形成的母板与所述背板对位组合包括:
将预先形成的所述母板与所述背板对位组合,并通过绑定材料绑定所述母板和所述背板,所述绑定材料包括熔融态金属锡或熔融态金属铟中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述形成背板包括以下步骤:
步骤a1:在基板上形成所述薄膜晶体管,所述薄膜晶体管在所述基板上间隔排列;
步骤a2:形成第一接触电极材料层,所述第一接触电极材料层覆盖所述薄膜晶体管以及所述基板;
步骤a3:对所述第一接触电极材料层进行等离子气体处理,在所述第一接触电极材料层远离所述薄膜晶体管的一面形成所述第一凹凸面;
步骤a4:对所述第一接触电极材料层进行黄光制程,以形成所述第一接触电极层,其中,所述薄膜晶体管在所述基板上的正投影覆盖所述第一接触电极层在所述基板上的正投影。
4.根据权利要求3所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤a4之后,还包括:
步骤a5:在所述第一接触电极层上形成绑定材料层。
5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,预先形成的所述母板包括:至少一个发光单元和第二接触电极层,其中,所述第二接触电极层设置在所述发光单元上,所述第二接触电极层远离所述发光单元的一面为第二凹凸面。
6.根据权利要求5所述的显示面板的制作方法,其特征在于,形成所述母板包括以下步骤:
步骤b1:在衬底上形成发光材料层;
步骤b2:在所述发光材料层上形成第二接触电极材料层;
步骤b3:对所述第二接触电极材料层的表面进行所述等离子气体处理,在所述第二接触电极材料层远离所述发光材料层的一面形成所述第二凹凸面;
步骤b4:对所述第二接触电极材料层和所述发光材料层进行黄光制程,以形成所述第二接触电极层和多个所述发光单元,其中,所述发光单元在所述衬底上的正投影覆盖所述第二接触电极层在所述衬底上的正投影。
7.一种显示面板,其特征在于,包括:背板和母板,所述背板和所述母板对位组合为一体,所述背板包括至少一个薄膜晶体管和第一接触电极层,其中,所述第一接触电极层设置在所述薄膜晶体管上,所述第一接触电极层远离所述薄膜晶体管的一面为第一凹凸面,所述第一凹凸面是通过等离子气体处理形成的。
8.根据权利要求7所述的显示面板,其特征在于,所述背板和所述母板之间设置有绑定材料,其中,所述绑定材料包括熔融态金属锡和熔融态金属铟中的至少一种。
9.根据权利要求7所述的显示面板,其特征在于,所述背板还包括绑定材料层,所述绑定材料层设置在所述第一接触电极层上。
10.根据权利要求7所述的显示面板,其特征在于,预先形成的所述母板包括至少一个发光单元和第二接触电极层,其中,所述第二接触电极层设置在所述发光单元上,所述第二接触电极层远离所述发光单元的一面为第二凹凸面,所述第二凹凸面是通过等离子气体处理形成的。
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